X線リソグラフィ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2017/12/22 02:13 UTC 版)
「次世代リソグラフィ」の記事における「X線リソグラフィ」の解説
詳細は「X線リソグラフィ」を参照 X線リソグラフィでは分解能は優れるものの、ステッパーを使用した縮小露光が出来ない。
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X線リソグラフィ
出典: フリー百科事典『ウィキペディア(Wikipedia)』 (2021/11/20 09:51 UTC 版)
詳細は「en:X-ray lithography」を参照 紫外線露光よりも分解能が高くなる事が期待されるが、縮小露光が出来ないのでマスクの製造が課題になる。
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