誠実を造り、誠実を売り、誠実をサービスする

炉内酸素濃度100ppm以下を可能にした有機EL（OLED）用の電気炉です。窒素置換方式により低コスト化も実現しています。

有機EL製造工程におけるITO結晶化、有機膜固化、シール材固化、基板表面乾燥、パネル耐久試験など、様々な用途にご使用いただけます。

●マルチ給気システムとチャンバー密閉度アップにより、炉内酸素濃度100ppm以下を実現

●ヒーター表面の電解着色処理により、効率的にIR波長を発生

●Hot Wall炉体構造により、チャンバー内全体が遠赤外線浴（IR BATHE）を構成（G4.5以下）

●高いメンテナンス性

　1.チャンバー内がフラットで清掃が容易

　2.支持ビームの着脱が容易

　3.背面扉から炉内へのアクセスが容易

●基板支持材は特殊耐熱樹脂材で、高温環境でも劣化が無い

●焼きムラ抑制構造

●アイドリングストップ機能（給排気の自動OFF）で給気ガス・電力消費を抑制

●昇華物回収装置により、排気ガスをクリーンに保つ

●イオナイザーで2秒以内に静電気除去