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ICP刻蚀机

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2023年03月24日

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****2023年4至12月政府采购意向-ICP刻蚀机详细情况

2023年03月24日 18:03

ICP刻蚀机
项目所在采购意向：
采购单位：	****
采购项目名称：	ICP刻蚀机
预算金额：	700.000000万元(人民币)
采购品目：	A032199-其他电工、电子专用生产设备
采购需求概况：	ICP刻蚀机，主要用于VCSEL芯片刻蚀工艺，GaAs\AlGaAs等材料的精准刻蚀，实现材料的微纳图像转移，垂刻蚀侧壁角度≥87°；6寸刻蚀均匀性≤3%，刻蚀角度可调；footing≤10°，采购数量1台，供货周期不超过12个月。以实际公告为准。
预计采购时间：	2023-09
备注：	以实际公告为准

本次公开的****政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

相关公告

中国电子科技集团公司第五十五研究所ICP刻蚀设备采购项目-单一来源采购公告

中国电子科技集团公司第五十五研究所ICP刻蚀设备采购项目-单一来源采购公告

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