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石墨舟氮气柜：半导体制造中的关键保护设备

新物联号：沐渥科技发布时间：2024/11/5 9:31:08 共计：5 浏览

石墨舟是由高纯度石墨材料制成的，主要用于承载硅片或其他基板材料通过高温处理过程，是制造半导体器件和太阳能电池片的关键设备之一。
石墨舟在空气中容易与氧气发生反应，尤其是在高温处理后，表面可能更为敏感；石墨舟具有一定的吸附性，潮湿环境中石墨舟会吸收水分，影响其性能，因此需要存放在干燥的环境中。石墨舟的存放环境应保持洁净，避免灰尘或污染物的积累，也要避免暴露在阳光下，因为紫外线可能会对石墨材料造成损害。

石墨舟的存放条件对其性能和使用寿命至关重要。石墨舟氮气柜主要应用于半导体、太阳能光伏、LED、电子、化工等行业，特别是在需要保护材料或产品免受潮湿、氧化和污染的环境中。石墨舟氮气柜能够防止石墨舟表面氧化，同时维持特定物理或化学性质的高端石墨舟的材料特性不被外界环境破坏，从而保证其在生产过程中的性能和产品质量。

石墨舟氮气柜的主要特点和功能包括：
1）防氧化保护：氮气柜通过充入氮气来降低柜内氧气浓度，防止石墨舟表面氧化，保持其导电性和热稳定性。
2）防潮防湿：氮气柜可以创造一个干燥的环境，避免湿气对石墨舟的影响，从而保护其不被潮湿环境影响。
3）精确控制气体环境：氮气柜配备精确的氮气流量控制和监测系统，可以调节和监控柜内的氮气浓度、湿度、氧气含量等参数，确保存储条件符合要求。
4）高质量密封材料：石墨舟氮气柜采用高质量的密封材料，提高柜门、接口等部位的密封性，减少氮气泄漏。
5）耐腐蚀、耐高温材料制造：通常采用不锈钢材质，因为不锈钢具有良好的耐腐蚀性能、强度高、易于清洁和维护，保证柜体在长期氮气环境下稳定工作。
6）智能化操作：氮气柜配备了智能化的控制系统，用户可以通过触摸屏或者电子键盘进行操作，提供了包括氮气浓度调节、温湿度监测、报警提示等功能。

7）安全保护：氮气柜具备安全保护功能，有效地防止事故的发生和物料的泄漏。

由于石墨舟易碎，所以在使用石墨舟氮气柜时，应轻拿轻放，避免摔落和碰撞。石墨舟在存放进氮气柜之前，要先清洁再烘干，将表面的氧化层和污垢去除。石墨舟氮气柜的有效运行，为实验室和生产环境提供必要的物料保护。
石墨舟氮气柜的设计和制造遵循严格的标准，以确保其在高科技制造业中的耐用性、清洁度及安全性。这些特点使得石墨舟氮气柜成为半导体制造中不可或缺的设备，有助于提高生产效率和产品质量。

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