理化学研究所の山田純平基礎科学特別研究員らと名古屋大学、大阪大学の共同研究グループは、走査型Ｘ線顕微鏡用の新しい高精度スキャン技術「Ｘ線ナノプローブスキャナー」を開発した。試料を動かさずにスキャンでき、スキャン精度は原子数個分に相当する１ナノメートル（ナノは１０億分の１）程度と従来手法の１０―２０倍を実現した。ナノ分解能のＸ線顕微鏡観察や、Ｘ線分光分析の高度化への寄与が期待される。

Ｘ線領域で機能する屈折プリズムの「Ｘ線プリズム」と、Ｘ線の反射現象を使って集光・結像する光学素子「反射型Ｘ線レンズ」を組み合わせた。

Ｘ線プリズムにより、Ｘ線の進行方向を１０００分の１度レベルの超微小角度で曲げた後、反射型Ｘ線レンズでＸ線を５０ナノメートルまで細く集光して試料に照射する。

Ｘ線プリズムは高い偏向角制御性を持ち、これまで制御が難しかった１ナノメートル精度のスキャンを実現した。また、４回反射型の超高精度なミラーを持つ反射型Ｘ線レンズを開発し、短い波長のＸ線を理想的に反射・集光できるようにした。

実際に大型放射光施設「スプリング８」のビームラインで試料を動かさずにスキャンし、最小構造５０ナノメートルを解像するＸ線顕微鏡画像を取得できた。

走査型Ｘ線顕微鏡ではＸ線プローブと試料の相対的な位置関係を高精度にスキャンする必要がある。

従来はＸ線を曲げるのは難しいとされ、Ｘ線ではなく試料をスキャンする装置が主体だった。