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●Swift data viewing and handling
●Useful functions
●Intuitive user inteface
●Supports various data formats
●Supports CD-SEM recipe making (optional)
Release date |
Version |
OS |
Download |
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2025-05-09 |
02.03.00 |
RHEL7 or later |
neoEBV 専用の Python 3.6 パッケージも配布しています。
neoEBV is here!
弊社 EBV の後継として作成され、長年使用された信頼ある描画エンジンはそのままに、UI、スケーラビリティの強化を行いました。
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Useful functions
neoEBV は弊社 EBV の後継として作成され、EBV で培われた機能、描画エンジンはそのまま neoEBV に移植されました。また、UI、スケーラビリティの強化を行い、非同期処理、インタラクティブな操作、柔軟なリソース管理を実現しています。
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Swift data viewing
and handling
neoEBV は高速なデータ表示だけでなく、図形の面積密度、ショットカウントなどの各種計算や、線幅や図形間の測定、図形の検索などの計測、その他に GDSII, OASIS® や弊社独自ファイルフォーマットへの図形の切り出し、CD-SEMレシピ出力などの豊富な機能を持つツールです。
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Intuitive
and responsive UI
neoEBV はユーザがストレスなく動かせることを目的にデザインされています。GUI が直感的に扱えることはもちろん、処理の中断や独自スクリプト言語によるオートメーション作成など幅広くユーザの操作をサポートします。
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Supporting various
data formats
neoEBV は様々なフォーマットをサポートしています。 サポートフォーマットは GERBER, GDSII, HL, JEOL, MBF, MEBES, MIC, OASIS®, OASIS.CL (SEMI P49), OASIS.MASK, OASIS.MBW, P44MultiFile, VSB と対応するジョブデックです。
Main Screen
メインスクリーンではレイアウトデータの操作を行います。表示だけでなくユーザに有用な多くの機能があります。
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Zoom in/out
マウスのドラッグかホイール操作でスクリーンの表示領域を変更することができます。
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Minimap
ミニマップは、現在表示中のデータの全景とメインスクリーンの表示領域を表示します。
また、マウスのクリックやドラッグで、メインスクリーンの表示領域を変更できます。
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Transform,
Color and Hatchレイアウトやハッチ、カラーを変更することができます。
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Transformation and Property
データに適用されているレイアウト情報、ジョブデックで指定されているレイアウト情報を表示する列や、ファイルパス、ファイルサイズといったファイル情報を表示する列を追加することができます。
Shot Count Calculation
図形から、VSB 形式の描画機向けのショットカウントを見積もることができます。
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矩形と台形を指定されたショットサイズを上限とした VSB 形式のビーム形状に分割して、描画に必要なショットカウントを見積もることができます。
ショットサイズは X, Y 方向で任意の大きさを指定することが可能です。
ポリゴンは計算対象外となります。
Other Calculations
メインスクリーンから、様々な計算をすることができます。
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1. Density
図形の面積密度の計算をすることができます。
2. Shot Count
図形から、VSB 形式の描画機向けのショットカウントを見積もることができます。
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3. Density Map
単純な領域の図形の面積密度計算だけでなく、メッシュ状に分割した領域の図形の面積密度を計算することができます。
4. Vertex Count
指定領域の頂点数を計算することができます。
Boolean Operation
表示されている図形の論理演算をすることができます。
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1. OR
2. AND
3. XOR
4. SUB
5. SIZING
利用可能な論理演算は OR, AND, XOR, SUB, NOT, SIZING です。
論理演算結果を出力するには別途ライセンスが必要になります。
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Measurement and Inspection
スクリーンから任意の 2 点、もしくは任意の図形の幅を計測することができます。
また、任意の座標にある、図形やセルを検索することができます。
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1. 2p Measure
ユーザの指定する 2 点間の距離を測ることができます。2 点間の間に図形やスペースがある場合は、その間の図形やスペースの幅も測定されます。
2. Auto Measure
ユーザが 1 点と角度を指定することで、線幅を測定することが可能です。
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Search Figures/Cells
スクリーンをクリックすることで、クリック箇所の図形情報、セル情報を取得することができます。 図形情報として、その頂点やレコード名が表示されます。
セル情報として、名前、外接矩形が表示されます。
Intuitive and Responsive UI
neoEBV はデフォルトで直感的に操作できるようにデザインされておりますが、
カスタマイズやコマンド実行などを合わせて利用することで、状況にあわせた柔軟な運用をすることが可能です。
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1. Customize
ユーザは neoEBV のツールバーを自由にカスタマイズすることができます。カスタマイズ内容は自動で保存され、次回起動時に復元されます。スクリーンサイズや押したボタンなども自動で保存され、次回起動時に復元されます。
2. Intuitive and Responsive UI
ボタン、リスト、スクリーン上に作成されたマークや、線にマウスカーソルを合わせると、詳細な情報を表示します。
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3. Command-based Operation
neoEBV は GUI の代わりにコマンドで動かすことができます。コマンドは GUI で操作可能な内容のほぼ全てサポートしています。