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Der Newsletter aus der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt
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Ausgabe 6 (28. November 2024)
Moderne Weltwunder: Computerchips
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Das Licht, das aus dem Speicherring kommt – „Das europäische Chip-Gesetz kann viel bewegen“ (Interview) – Klebstoffe in Bewegung – Mit Nano-Linealen zum Goldstandard – Wo jedes Molekül im Vakuum stört – Werner-von-Siemens-Ring für Halbleiterlithografie – Termine
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Das Licht, das aus dem Speicherring kommt
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Bei der PTB in Berlin helfen kreisende Elektronen, die komplexesten Spiegel der Welt
zu untersuchen – für unvorstellbar kleine Strukturen auf Halbleiterchips
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Die Zentren der Halbleiterherstellung liegen in Taiwan, Südkorea und den USA – stimmt fast: Europa hat ein größeres Wörtchen mitzureden, als viele ahnen. Ganz entscheidend sind eine Firma in den Niederlanden, ihre deutschen Zulieferfirmen und ihre europäischen Forschungspartnerinstitutionen, darunter die PTB.
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„Das europäische Chip-Gesetz kann viel bewegen“
Frank Scholze, der die Forschungskooperationen der PTB zur EUV-Lithografie verantwortet, hält nichts von überzogenen Erwartungen: Europa kann nicht mal eben eine autarke Chipproduktion aufbauen. Aber ohne europäische Firmen und Forschung läuft auch nichts. Deren Rolle in der globalen Teamarbeit erhält über das Chip-Gesetz der EU kräftige Unterstützung.
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Sie quellen und schrumpfen und verschieben dadurch die Präzisionsspiegel in EUV-Optiken minimal: Klebstoffe. Nur die PTB kann das messen.
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Dünne Klebeschichten halten Spiegel an ihrem Platz, die mit höchster Präzision das Licht lenken, damit nanometergenaue Strukturen auf einem Chip entstehen können. Hier darf nichts wackeln. Doch wer ganz genau hinschaut, entdeckt kleinste Bewegungen innerhalb der Klebeschicht. Weltweit kann nur die PTB sie messen – und liefert damit wichtige Zahlen für die Industrie.
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Mit Nano-Linealen zum Goldstandard
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Die PTB bietet Kalibrierdienstleistungen für die Halbleiterindustrie
mit der weltweit besten Genauigkeit an
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Gaoliang Dai ist Experte für Lineale – allerdings messen seine Lineale Längen im Nanometerbereich. Eines davon ist ein an der PTB entwickeltes metrologisches Rasterkraftmikroskop, das Oberflächen mit einer fast atomar feinen Spitze abtastet. Mit diesem und anderen Geräten misst Dai Halbleiterstrukturen für die Industrie aus.
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Wo jedes Molekül im Vakuum stört
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Die PTB hat „Vakuum-Verschmutzungsnormale“ für die Computerlithografie entwickelt
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Extremes UV-Licht, mit dem die Strukturen auf Computerchips geätzt werden, ist so kurzwellig, dass es durch keine Linse mehr dringt. Es wird mit Spiegeln gelenkt. Dazu braucht es ungeheuer sauberes Vakuum. Doch aus allen verbauten Materialien entweicht Gas. Es verschmutzt das Vakuum, setzt sich auf den Spiegeln ab und verdunkelt sie. Mit neuen Ausgasungsnormalen aus der PTB können Firmen störende Moleküle jetzt genau messen.
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Werner-von-Siemens-Ring 2024
Bahnbrechende Entwicklung in der Lithografietechnik: Forscherteams von ZEISS und TRUMPF ausgezeichnet.
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Die Deutsche Physikalische Gesellschaft (DPG) hat 2025 zum Jahr der Quanten erklärt und plant zahlreiche Tagungen, Wissenschaftsfestivals und weitere Aktionen. mehr Infos dazu
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20. bis 22. Mai 2025: Vor 150 Jahren wurde die Welt metrisch: 1875 unterzeichneten die 17 wichtigsten Industriestaaten der Welt die Meterkonvention. Heute haben praktisch alle Staaten den Staatsvertrag unterzeichnet und sich damit zum metrischen System bekannt. Das Internationale Büro für Maß und Gewicht (BIPM) in Paris feiert dieses Jubiläum mit einer Reihe von Spezialevents.
mehr Infos dazu
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Zugegeben: Wir haben Spaß mit dem Erstellen dieses Newsletters. Haben Sie Freude beim Lesen? Das können Sie uns gerne schreiben! Kritik und Anregungen sind natürlich ebenso erwünscht. Schreiben Sie an genau-der-newsletter@ptb.de. Und wie wäre es mit einer Empfehlung in Ihrem Feundes- oder Bekanntenkreis? Dazu einfach den Link zum Anmeldeformular weiterleiten!
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Genau! ist der zweimonatliche Newsletter der Physikalisch-Technischen
Bundesanstalt (PTB), Braunschweig und Berlin.
Redaktionsanschrift: Presse- und Öffentlichkeitsarbeit der PTB,
Bundesallee 100, 38116 Braunschweig, Telefon: (0531) 592-3006.
Bildquellen in dieser Ausgabe (von oben nach unten): Johannes/stock.adobe.com; WISTA Management GmbH; ZEISS; AMTC; ASML; ZEISS; DPG; BIPM
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