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Trichlorosilaneを含む例文一覧と使い方

該当件数 : 101



例文

Besides, the apparatus for producing trichlorosilane is provided with a reaction vessel 1 in which tetrachlorosilane and hydrogen is supplied and a reaction product gas containing trichlorosilane and hydrogen chloride is produced by conversion reaction at an elevated temperature, the reaction vessel 1 being constituted by using the above heat resistant corrosion resistant member.例文帳に追加

また、トリクロロシラン製造装置が、テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されて高温下で転換反応によりトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器1を備え、反応容器1が、上記耐熱耐食性部材を用いて構成されている。 - 特許庁

To provide a silicon production process of supplying trichlorosilane to a reactor while circulating hydrogen gas to produce silicon in the reactor, in which problems caused by leakage due to condensation of trichlorosilane included in a discharged hydrogen gas or temperature elevation due to compositional changes in the gas are effectively eliminated and silicon is continuously and stably produced.例文帳に追加

水素ガスを循環しながらトリクロロシランを反応器に供給して反応器内にシリコンを生成させるシリコン製造プロセスにおいて、排出される水素ガス中に含まれるトリクロロシランなどの凝縮による漏洩や、ガスの組成変動による温度上昇による不都合が有効に解消され、シリコンの製造を連続して安定に行う。 - 特許庁

In an apparatus 1 for producing trichlorosilane in which metal silicon powder supplied into a reactor 2 is reacted with hydrogen chloride gas while being fluidized by the gas, thereby taking out trichlorosilane generated by the reaction from the upper part of the reactor 2, a plurality of gas flow controlling members 32 are installed at the internal space of the reactor 2 along the vertical direction.例文帳に追加

反応炉2内に供給された金属シリコン粉末を塩化水素ガスによって流動させながら反応させ、この反応により生成されたトリクロロシランを反応炉2の上部から取り出すトリクロロシラン製造装置1において、反応炉2の内部空間に、複数本のガス流制御部材32が上下方向に沿って設けられていることを特徴とする。 - 特許庁

To provide a method for producing an amino ester compound or a hydrazine compound in a good yield by reducing an imino ester compound or a hydrazone compound with an inexpensive and easily handleable trichlorosilane as a reducing agent.例文帳に追加

安価で取扱いが容易なトリクロルシランを還元剤として用いてイミノエステル化合物又はヒドラゾン化合物を還元し、収率良くアミノエステル化合物又はヒドラジン化合物を製造する方法を提供する。 - 特許庁

例文

To remove boron compounds from trichlorosilane (TCS) and to effectively reuse dichlorosilane (DCS) and other compounds by converting such reusable compounds into TCS.例文帳に追加

トリクロロシラン(TCS)からホウ素化合物を除去するとともに、再利用可能な化合物をTCSに変換して、ジクロロシラン(DCS)およびその他の化合物を効果的に再利用する。 - 特許庁


例文

Since silicon produced from trichlorosilane in the produced reaction gas by a reduction reaction and a pyrolysis reaction melts in the molten silicon S, the amount of the molten silicon S can be increased.例文帳に追加

また、生成反応ガス中のトリクロロシランから還元反応及び熱分解反応によって生成されたシリコンが溶融シリコンSに溶け込むため、溶融シリコンSを増加させることができる。 - 特許庁

In the vapor deposition method of silicon, semiconductor grade silicon is produced while producing solar cell grade silicon by converting a portion of trichlorosilane into the solar cell class silicon.例文帳に追加

トリクロロシランの1部を太陽電池用シリコンに変換して太陽電池級シリコンを製造しつつ半導体級シリコンを製造する、シリコンの蒸着法。 - 特許庁

To provide a trichlorosilane production apparatus which can effectively preheat a supply gas by heat exchange with a reaction product gas and allows the reduction in size and cost of the whole apparatus.例文帳に追加

トリクロロシラン製造装置において、反応生成ガスとの熱交換により供給ガスを効果的に予熱することができると共に、装置全体の小型化及び低コスト化を可能にする。 - 特許庁

Trichlorosilane is reacted with ethylamine in a solvent in the process for synthesizing the 1,3,5-triethyl-2,4,6-trihydrido-2,4,6-triethylamino-1,3,5-triaza-2,4,6-trisilacyclohexane.例文帳に追加

1,3,5−トリエチル−2,4,6−トリヒドリド−2,4,6−トリエチルアミノ−1,3,5−トリアザ−2,4,6−トリシラシクロヘキサンの製造方法において、トリクロロシランとエチルアミンとを溶剤中で反応させる。 - 特許庁

例文

To provide a method by which a specific ligand compound used as a catalyst for activating trichlorosilane can be produced only by chemical reactions without a complicated treatment such as optical resolution.例文帳に追加

光学分割のような煩雑な処理をすることなく、トリクロロシランの活性化触媒となる特定配位子化合物を化学反応のみで製造しうる方法の提供。 - 特許庁

例文

A feed solution consisting essentially of trichlorosilane and silicon tetrachloride obtained from the waste gas discharged from the reaction furnace is passed through the distillation column 10 to take out tricholosilane from the column top part and silicon tetrachloride by side cut respectively.例文帳に追加

反応炉から排出される排ガスから得たトリクロロシラン及び四塩化珪素を主成分とするフィード液を蒸留塔10に通し、塔頂部よりトリクロロシランを、またサイドカットにより四塩化珪素をそれぞれ取り出す。 - 特許庁

To provide a method for economically and effectively cleaning the inner surface of a container for holding high purity trichlorosilane or high purity silicon tetrachloride or a mixture thereof with a small amount of cleaning solution and simple facilities.例文帳に追加

高純度トリクロロシラン又は高純度四塩化珪素若しくはこれらの混合物を収容する容器の内面を、僅かな洗浄液量と簡単な設備で経済性よく効果的に洗浄する。 - 特許庁

The silicon chloride gas is preferred to be SiC14 (silicon tetrachloride) and Si2C16 (disilicon hexachloride), while the chlorosilane gas is preferred to be SiHC13 (trichlorosilane) and SiH2C12 (dichlorosilane).例文帳に追加

本発明で用いる塩化硅素ガスは、具体的にはSiCl4(四塩化硅素)およびSi2Cl6(六塩化二硅素)であり、本発明で用いるクロルシランガスは、具体的には、SiHCl3(トリクロルシラン)およびSiH2Cl2(ジクロルシラン)である。 - 特許庁

To realize downsizing of a reaction chamber, cost reduction and life extension of a constituent material in a method and an apparatus for producing trichlorosilane.例文帳に追加

トリクロロシランの製造方法及びトリクロロシラン製造装置において、反応室の小型化ができると共に、低コスト化及び構成材料の長寿命化を図ること。 - 特許庁

Since the supply gas is released in a state of bubbles into the heated high temperature molten silicon, it is efficiently heated and brought into a conversion reaction, accordingly trichlorosilane is obtained at a high conversion rate.例文帳に追加

これにより、加熱された高温の溶融シリコン中に供給ガスが気泡状態で放出されることで、効率的に加熱されて転換反応し、高い転換率でトリクロロシランが得られる。 - 特許庁

In this method for treating the electroluminescent phosphor, electroluminescent phosphor particles having moisture resistant coatings are treated with a mixture of water vapor and an organic trichlorosilane compound for about 30 min in a fluidized bed, so that the particles are recoated.例文帳に追加

耐湿コーティングを有するエレクトロルミネセントホスファー粒子が、該粒子を約30分間、水蒸気及び有機トリクロロシラン化合物の混合物で流動床において処理されることによって、再コートされる。 - 特許庁

To enhance conversion efficiency by rapidly cooling a reaction product gas while controlling a chemical reaction in a method and an apparatus for producing trichlorosilane.例文帳に追加

トリクロロシランの製造方法及びトリクロロシラン製造装置において、化学反応を制御しながら反応生成ガスを急冷し、転換効率を向上させること。 - 特許庁

Further, the phenomenon, that the reactor 1 is reacted with gas components in a feed gas and a reaction product gas, so as to produce impurities, does not occur, and trichlorosilane with high purity can be obtained.例文帳に追加

また、反応器1が供給ガス及び反応生成ガス中のガス成分と反応して不純物を生成することがなく、純度の高いトリクロロシランを得ることができる。 - 特許庁

Concretely, 3-chloropropyltrichlorosilane is synthesized by reacting trichlorosilane with allyl chloride in the presence of a platinum-adhered pulverized activated carbon catalyst.例文帳に追加

反応の具体例としては、トリクロルシランとアルルクライドとの、白金付粉化活性炭触媒を用いた3−クロルプロピルトリクロルシランの合成があげられる。 - 特許庁

A vapor deposition apparatus 10 comprises: a vapor deposition chamber 36; a heating chamber 8; a mixing chamber 38; a first storage shed 42 for storing a trichlorosilane gas; and a second storage shed 40 for storing a silane-based gas which reacts with a hydrochloric acid gas.例文帳に追加

気相成長装置10は、気相成長室36と、加熱室8と、混合室38と、トリクロロシランガスを貯蔵する第1貯蔵庫42と、塩酸ガスと反応するシラン系ガスを貯蔵する第2貯蔵庫40を備えている。 - 特許庁

To provide a trichlorosilane production apparatus which heats a feed gas at high efficiency, can be made large-sized without impairing heat efficiency, and achieves mass production.例文帳に追加

高い熱効率で供給ガスを加熱するとともに、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産を可能にするトリクロロシラン製造装置を提供する。 - 特許庁

A primer layer 20 is formed on the surface of the multi-lens array 10 and a water repellent layer 30 is formed by carrying out water repellent treatment using perfluorodecyl trichlorosilane (FDTS) on the outer peripheral part of the multi-lens array 10.例文帳に追加

マルチレンズアレイ10の表面にプライマー層20を積層し、マルチレンズアレイ10の外周部に対してFDTSを用いて撥水処理を行い撥水層30を形成する。 - 特許庁

To provide an apparatus for producing trichlorosilane where, even in the case a heat element lies in a high temperature, mechanical strength is maintained, further, the generation of impurities is prevented, and further, increase in cost of members can be suppressed.例文帳に追加

トリクロロシラン製造装置において、発熱体が高温下でもより高い機械的強度を有する共に不純物の発生を防ぐこと。 - 特許庁

To provide an apparatus and method for producing trichlorosilane in which hydrogen chloride gas introduced from the bottom part of a reactor contributes effectively to a reaction even at the upper part of the reactor, thereby attaining a higher reaction efficiency while suppressing wear of the heat transfer tube.例文帳に追加

反応炉の下部から導入される塩化水素ガスを反応炉の上部においても有効に反応に寄与させ、反応効率を高めるとともに、伝熱管の摩耗を抑制する。 - 特許庁

To provide a method of purifying a trichlorosilane which is to be a raw material for polycrystalline silicon, superior in purifying effect by effectively separating and removing impurities such as boron, and also causing no fear to generate a pollution problem due to a impurity removing agent.例文帳に追加

多結晶シリコンの原料となる三塩化シランについて、ホウ素等の不純物を効果的に分離除去し、かつ不純物除去剤による汚染の問題を生じる虞もない精製効果に優れた精製方法を提供する。 - 特許庁

The method for producing trichlorosilane comprises a step of heating tetrachlorosilane by a first heating mechanism 1, a step of heating hydrogen separate from tetrachlorosilane by a second heating mechanism 2 and a step of producing a reaction product gas of trichlorosilane and hydrogen chloride through a conversion reaction by introducing the heated tetrachlorosilane and the heated hydrogen into the reaction chamber 3 and keeping the temperature of a mixed gas of tetrachlorosilane and hydrogen at 800-1,400°C.例文帳に追加

第1の加熱機構1でテトラクロロシランを加熱する工程と、テトラクロロシランとは別に第2の加熱機構2で水素を加熱する工程と、加熱されたテトラクロロシランと加熱された水素とを反応室3内に導入し、テトラクロロシランと水素との混合ガスの温度を800〜1400℃に保持することにより転換反応によってトリクロロシランと塩化水素との反応生成ガスを生成する工程とを有する。 - 特許庁

The manufacturing method includes a polymerization process for polymerizing methyl trichlorosilane, diaklyl dichlorosilane and bis-trialkyl silyl carbodiimide in the presence of an organic base to obtain polysilyl carbodiimide and a firing process for firing the polysilyl carbodiimide.例文帳に追加

本製造方法は、メチルトリクロロシラン、ジアルキルジクロロシラン及びビストリアルキルシリルカルボジイミドを、有機塩基の存在下に重合してポリシリルカルボジイミドとする重合工程と、このポリシリルカルボジイミドを焼成する焼成工程と、を備える。 - 特許庁

The disproportionation reaction product of the silane compound is manufactured by using the catalyst composed of at least one metal or metal oxide selected from chromium, molybdenum, tungsten, nickel, platinum and fringing hydrohalogenated silane such as trichlorosilane into contact with the catalyst to cause the disproportionation reaction.例文帳に追加

クロム、モリブデン、タングステン、ニッケル、白金から選ばれる少なくとも一種の金属または金属酸化物からなる触媒を用いて、これにトリクロロシラン等の水素化ハロゲン化シランを接触させて不均化反応を起こしシラン化合物の不均化反応生成物を製造する。 - 特許庁

This curable composition comprises a silsesquioxane oligomer obtained by cohydrolysis of vinyltrichlorosilane with a monosubstituted trichlorosilane, a silicon compound having an SiH group and a hydrosilylation catalyst, and a method of producing the curable composition is provided.例文帳に追加

本発明は、ビニルトリクロロシランと一置換トリクロロシランとの共加水分解によって得られるシルセスキオキサンオリゴマー、SiH基を有するケイ素化合物、ヒドロシリル化触媒とからなる硬化性組成物およびその製造方法である。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing silicon capable of industrially advantageously treating tetrachlorosilane (STC) formed by a silicon deposition reaction in a method for manufacturing silicon by reacting trichlorosilane (TCS) with hydrogen.例文帳に追加

トリクロロシラン(TCS)と水素との反応によるシリコンの製造方法において、シリコン析出反応によって生成するテトラクロロシラン(STC)の処理を工業的に極めて有利に行うことが可能なシリコンの製造方法を提供する。 - 特許庁

The polysilazane can be synthesized by reacting dichlorosilane, trichlorosilane and ammonia added in a reaction solvent as reactants in the presence of a catalyst, has 2,000-30,000 weight average molecular weight in terms of polystyrene, and is represented by chemical formula (1).例文帳に追加

ポリシラザンは、反応溶媒内に反応物として添加されたジクロロシラン、トリクロロシラン、およびアンモニアを触媒存在下で反応させることによって合成することができ、ポリスチレン換算重量平均分子量が2000〜30000であり、下記化学式(1)で示される。 - 特許庁

To provide a method for producing a ketone compound in which carbon atoms at the α position and the β position to the carbonyl group are bonded through a single bond, by reducing an α,β-unsaturated ketone compound using inexpensive and readily handleable trichlorosilane as a reducing agent.例文帳に追加

安価で取扱いが容易なトリクロロシランを還元剤として用いてα,β−不飽和ケトン化合物を還元し、収率良くカルボニル基のα位とβ位の炭素原子が単結合により結ばれたケトン化合物を製造する方法を提供する。 - 特許庁

To provide a method for producing an optically active secondary alcohol compound industrially useful as an intermediate for pharmaceuticals, agricultural chemicals, or perfumes in a high optical purity by reducing an asymmetric ketone compound with inexpensive and easily handleble trichlorosilane.例文帳に追加

医農薬或いは香料の中間体として工業上有用な光学活性二級アルコール化合物を、非対称ケトン化合物を、安価で取扱いが容易なトリクロロシランを還元剤として用いて還元することにより高い光学純度で製造し得る方法を提供する。 - 特許庁

To avoid deterioration in quality of liquid chlorinated silane based on trichlorosilane and silicon tetrachloride, which is obtained from exhaust gas discharged from a reduction furnace when polycrystalline silicon is manufactured by a vapor phase growth method, when the liquid chlorinated silane is purified by using a distillation column.例文帳に追加

気相成長法による多結晶シリコンの製造に伴って還元炉から排出される排ガスより得たトリクロロシラン及び四塩化珪素を主成分とするクロルシラン液を蒸留塔に通して精製する際の品質低下を回避する。 - 特許庁

To provide a method for producing an optically active high-purity secondary alcohol compound in high purity industrially useful as an intermediate for a medicine, an agrochemical or a perfume by asymmetrically reducing a ketone compound by using inexpensive and readily handleable trichlorosilane as a reducing agent.例文帳に追加

医農薬あるいは香料の中間体として工業上有用な光学活性二級アルコール化合物を、ケトン化合物を安価で取り扱いが容易なトリクロロシランを還元剤として用いて非対称還元することにより高い光学純度で製造し得る方法を提供する。 - 特許庁

A by-product mixture produced in a process 101 for producing polycrystalline silicon is made to react with chlorine in a chlorination reaction vessel 102 to form tetrachlorosilane (STC) distillate, and the STC distillate is made to react with hydrogen in a hydrogenation reaction vessel 103 to be converted into trichlorosilane (TCS).例文帳に追加

多結晶シリコン製造工程101で生成する副生混合物を、塩素化反応器102内で塩素と反応させてテトラクロロシラン(STC)留出物を生成させ、当該STC留出物を水素化反応器103内で水素と反応させてトリクロロシラン(TCS)に転換させる。 - 特許庁

To provide a method where hydrogen gas serving as a purge gas to be used for recovering hydrogen chloride in the by-product hydrogen chloride-containing exhaust gas to be discharged from a process for allowing hydrogen to react with trichlorosilane to produce polysilicone, is treated and utilized as a hydrogen source.例文帳に追加

水素とトリクロロシランとを反応させてポリシリコンを製造する工程から排出される副生塩化水素含有排ガス中の塩化水素を回収するために使用するパージガスとしての水素ガスを、処理して水素源として利用する方法を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus for producing trichlorosilane, in which the temperature distribution in a reaction chamber is made uniform, so as to heat a gas being supplied with a higher heat efficiency, and which can be upsized without impairing heat efficiency and allows mass production.例文帳に追加

反応室内の温度分布を均一にしてさらに高い熱効率で供給ガスを加熱するとともに、熱効率を損なうことなく装置の大型化を図ることができ、大量生産を可能にするトリクロロシラン製造装置を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus for producing trichlorosilane simplified in structure and excellent in workability such as assembling, inspection and the like, which has a restraint on a maximum temperature on the surface of a heater in a reaction chamber, and enlarged in a heat transfer area in the reaction chamber to enable supplied gas to be heated with high heat efficiency.例文帳に追加

反応室内のヒータ表面の最高温度を抑制するとともに、反応室内の伝熱面積を大きくし、供給ガスを高い熱効率で加熱することができる構造を簡略化した組み立て及び点検等の作業性に優れたトリクロロシラン製造装置を提供する。 - 特許庁

The apparatus for the production of trichlorosilane is provided with a vessel 1 for storing molten silicon S therein, a heating mechanism 2 for heating the molten silicon S stored in the vessel 1, and a gas supply unit 3 for blowing a supply gas comprising tetrachlorosilane and hydrogen into the molten silicon S.例文帳に追加

溶融シリコンSを貯留する容器1と、容器1内の溶融シリコンSを加熱する加熱機構2と、テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスを溶融シリコンS中に吹き出すガス供給部3とを備えている。 - 特許庁

An asymmetric ketone compound such as acetophenone, etc., is reduced with trichlorosilane in the presence of an optically active N-picolinoylpyrrolidine derivative represented by formula (1) (R is a 2-5C alkoxycarbonyl group, a 2-5C alkoxymethyl group or a hydroxymethyl group) such as picolinoyl-(S)-2-methoxycarbonylpyrrolidine.例文帳に追加

たとえばN−ピコリノイル−(S)−2−メトキシカルボニルピロリジンのような下記式(I)で示される光学活性N−ピコノイルピロリジン誘導体の存在下に、アセトフェノン等の非対称ケトン化合物をトリクロロシランで還元する。 - 特許庁

The α,β-unsaturated ketone compound such as 1-phenyl-2-buten-1- one is reduced by using the trichlorosilane in the presence of a formamide compound to produce the ketone compound such as 1-phenylbutan-1-one, in which carbon atoms at the α position and the β position to the carbonyl group are bonded through the single bond.例文帳に追加

ホルムアミド化合物の存在下、1−フェニル−2−ブテン−1−オン等のα,β−不飽和ケトン化合物をトリクロロシランで還元することにより、1−フェニルブタン−1−オン等のカルボニル基のα位とβ位の炭素原子が単結合により結ばれたケトン化合物を製造する。 - 特許庁

When a polycrystalline silicon manufactured by a Siemens method using trichlorosilane as a raw material is used as the silicon raw material, the polycrystalline silicon being a silicon raw material, containing impurities in amount of -5 to 50 ppta expressed in terms of (donor concentration - acceptor concentration) is selected and used.例文帳に追加

前記シリコン原料として、トリクロロシランを原料としてシーメンス法により製造された多結晶シリコンを使用する場合、原料中の不純物濃度が(ドナー濃度−アクセプター濃度)で表して−5〜50pptaの範囲内のものを選別して使用する。 - 特許庁

A Y-aminoketone derivative such as 1- methoxycarbonyl-2-(2-oxopropyl) pyrrolidine is obtained by reacting an N,O- acetal derivative such as 1-methoxycarbonyl-2-methoxypyrrolidine with a ketone compound such as acetone in the presence of a dichlorosilane derivative such as trichlorosilane and a Lewis acid such as titanium tetrachloride.例文帳に追加

1−メトキシカルボニル−2−メトキシピロリジンのようなN,O−アセタール誘導体とアセトンのようなケトン化合物とを、トリクロロシラン等のジクロロシラン誘導体、及び四塩化チタン等のルイス酸の存在下に反応させて、1−メトキシカルボニル−2−(2−オキソプロピル)ピロリジンのようなγ−アミノケトン誘導体を得る。 - 特許庁

At least one of hydride trichlorosilane, tetrachlorosilane or organotrichlorosilane is added to a binary phase mixture for water phase containing a non-polar organic solvent and 0-43 wt.% surface active compound selected from hydrochloric acid, hydrated alkylsulfonic acids, alkylsulfonic acid alkali metal salts, hydrated arylsulfonic acids and arylsulfonic acid alkali metal salts.例文帳に追加

少なくとも1つのヒドリドトリクロロシラン、テトラクロロシランまたはオルガノトリクロロシランを、非極性有機溶媒、ならびに0〜43重量%の塩酸、アルキルスルホン酸水和物、アルキルスルホン酸のアルカリ金属塩、アリスルホン酸水和物およびアリールスルホン酸のアルカリ金属塩から選択される界面活性化合物を含有する水性相の二相混合物に添加する。 - 特許庁

A by-product mixture produced when polycrystalline silicon is deposited in a CVD reactor 101 is made to react with chlorine in a chlorination reaction vessel 102 to form tetrachlorosilane (STC) distillate, and the STC distillate is made to react with hydrogen in a hydrogenation reaction vessel 103 to be converted into trichlorosilane (TCS).例文帳に追加

多結晶シリコンをCVD反応炉101で析出させた際に生成する副生混合物を、塩素化反応器102内で塩素と反応させてテトラクロロシラン(STC)留出物を生成させ、当該STC留出物を水素化反応器103内で水素と反応させてトリクロロシラン(TCS)に転換させる。 - 特許庁

The device is provided with a reaction vessel 1 to whose inside the supply gas containing tetrachlorosilane and hydrogen is supplied and a reaction product gas containing trichlorosilane and hydrogen chloride is generated, a plurality of particle blocks 2 which is packed in the reaction vessel 1 and which has a melting point exceeding at least 1,400°C and a heating mechanism 3 for heating the particle blocks 2 in the reaction vessel 1.例文帳に追加

テトラクロロシランと水素とを含む供給ガスが内部に供給されてトリクロロシランと塩化水素とを含む反応生成ガスが生成される反応容器1と、反応容器1内に充填され少なくとも1400℃を超えた融点を有する複数の粒塊2と、反応容器1内の粒塊2を加熱する加熱機構3とを備えている。 - 特許庁

In a silicon CVD device in which gaseous hydrogen-silicon halide of trichlorosilane, dichlorosilane or the like used as a gaseous starting material, and hydrogen chloride is used as cleaning gas, a passage 21 feeding the gaseous starting material and a passage 22 feeding the cleaning gas to a reaction furnace 2 are formed of another systems to the inlet part of the reaction furnace.例文帳に追加

原料ガスにトリクロロシラン、ジクロロシラン等のハロゲン化水素ケイ素ガスを使用し、クリーニングガスに塩化水素を使用するシリコンCVD装置において、反応炉に原料ガスを供給する経路とクリーニングガスを供給する経路とを反応炉入口部まで別系統で形成する。 - 特許庁

The copolysilane (a cyclic copolysilane or the like) is produced by reacting diphenyldichlorosilane with at least one kind (e.g. methylphenyldichlorosilane) selected from other halosilanes (e.g. dichlorosilane, trichlorosilane, tetrachlorosilane and monochlorosilane) in the presence of a magnesium metal component, a lithium compound and a metal halide in nonprotonic solvent.例文帳に追加

ジフェニルジクロロシランと、他のハロシラン(ジクロロシラン、トリクロロシラン、テトラクロロシラン、モノクロロシラン)から選択された少なくとも一種(メチルフェニルジクロロシランなど)とを、マグネシウム金属成分、リチウム化合物及び金属ハロゲン化物の存在下、非プロトン性溶媒中で反応させ、コポリシラン(環状コポリシランなど)を製造する。 - 特許庁

例文

The optical member is composed of a polycrystal silicon solidified body obtained by melting polycrystal silicon as grown synthesized by a chemical vapor deposition process using monosilane or trichlorosilane as raw materials in an oxygen-free inert gas atmosphere using a vessel made of a non-metallic oxide or a vessel whose inner wall face is covered with a non-metallic oxide substance, thereafter cooling the same and performing solidification, and mainly used for infrared rays.例文帳に追加

モノシランやトリクロロシランを原料として化学蒸着法で合成されたアズグロウンの多結晶シリコンを、酸素を含まない不活性ガス雰囲気下で、且つ、非金属酸化物製の容器或いはその内壁面を非金属酸化物系物質で覆った容器を用いて溶融させた後冷却して凝固させた多結晶シリコン凝固体からなることを特徴とする、主として赤外線用に使用される光学部材。 - 特許庁

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