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熱化学反応を利用する所定の半導体製造プロセスを行う際に、予め設定されたプロセス実行初期設定に基づいて半導体製造プロセスを開始するとともに、熱化学反応が進行している所定の系の雰囲気の状態とその変化を所定の時間間隔で測定および解析し、この解析した結果を半導体製造プロセスにフィードバックする。 - 特許庁

To provide such a method and apparatus for decomposing hydrogen iodide as can increase an efficiency in the decomposition of hydrogen iodide at a time of manufacturing the hydrogen by a thermochemical process.例文帳に追加

熱化学法により水素を製造する際にヨウ化水素の分解効率を高めることができるヨウ化水素分解方法およびヨウ化水素分解装置を提供する。 - 特許庁

To provide a Bunsen reactor which separates and takes out an acid formed by a Bunsen reaction without using another equipment or step for acid separation in a thermochemical hydrogen production process.例文帳に追加

熱化学水素製造プロセスにおいて、酸分離のための別の設備・工程を用いることなく、ブンゼン反応により生成された酸を連続的に分離して抜き出すことを課題とする。 - 特許庁

To provide a method for producing hydrogen at a low cost while keeping high reusing rate of calcium carbonate by thermochemical decomposition of water at comparatively low pressure compared to the supercritical pressure by using a material containing carbon and the calcium carbonate.例文帳に追加

超臨界に比べて比較的低い圧力で、炭素を含有する物質と炭酸カルシウムを用いて、水を熱化学的分解することにより炭酸カルシウムの再利用率が高く低コストで水素を製造する方法を提供する。 - 特許庁

To attain excellent high reactivity at a relatively low temperature of ≤1,400 °C and excellent cyclability of a reaction medium in a method of producing hydrogen by a two step water decomposition thermochemical cycle using ferrite as the reaction medium.例文帳に追加

フェライトを反応媒体とする二段階水分解熱化学サイクルによって水素を製造する方法において、１４００℃以下の比較的低温でも優れた高反応性とともに、優れた反応媒体のサイクル性を得ること。 - 特許庁

To provide a thermochemical hydrogen production apparatus capable of efficiently producing hydrogen by using iodine, sulfur dioxide and water as raw materials and generating an aqueous solution of hydrogen iodide scarcely containing iodine, and also to provide its operation method.例文帳に追加

ヨウ素と二酸化硫黄と水を原料とし、ヨウ素をほとんど含有しないヨウ化水素水溶液を生成して効率よく水素を生成することのできる熱化学水素製造装置およびその運転方法を提供する。 - 特許庁

To provide a system of reforming a woody biomass gas, which attains the thermochemical regeneration of contained tar during conversion of woody biomass gas into fuel and achieves the regeneration that is excellent in cost and efficiency.例文帳に追加

第１に、木質バイオマスガスの燃料化に際し、含有されたタールの熱化学再生が実現され、第２に、しかもこれが、コスト面や効率面に優れつつ達成される、木質バイオマスガスの改質システムを提案する。 - 特許庁

To provide a combined hydrogen production apparatus capable of improving thermal efficiency by recovering heat exhausted from IS (Iodine-Sulfur) process-based thermochemical hydrogen production system thereby contributing further to hydrogen production.例文帳に追加

ＩＳ法による熱化学的水素製造システムから排出される熱を回収してさらに水素生成に寄与することにより、熱効率を改善することのできるコンバインド水素製造装置を提供する。 - 特許庁

To obtain a carbon nanotube which can directly be used as an electron emission source in a cold cathode type picture display device without removing a porous inorganic carrier on which a metallic catalyst is supported by a thermochemical vapor deposition method.例文帳に追加

熱化学気相成長法により、金属触媒を担持させた多孔性無機担体を除去することなく、直接、冷陰極型画像表示装置の電子放出源として使用することができるカーボンナノチューブを得ることを目的とする。 - 特許庁

To provide thermochemical hydrogen producing equipment which does not induce precipitation of iodine when heat supply from a heat source is stopped or when operation of the hydrogen producing equipment is stopped.例文帳に追加

熱源からの熱の供給停止時及び水素製造設備運転停止時にヨウ素の析出を起こすことない熱化学的水素製造設備を提供する。 - 特許庁

To provide refrigerator oil which achieves both of refrigerant compatibility and thermochemical stability at high levels, in a refrigeration system using a fluoropropene refrigerant, and to provide a working fluid composition for the refrigerator.例文帳に追加

フルオロプロペン冷媒を用いる冷凍システムにおいて、冷媒相溶性と熱・化学的安定性との双方を高水準で達成することが可能な冷凍機油および冷凍機用作動流体組成物を提供すること。 - 特許庁

To provide a method of manufacturing a semiconductor device, which conducts semiconductor manufacturing process utilizing a thermochemical reaction in a proper condition, irrespective of the atmospheric conditions.例文帳に追加

熱化学反応を利用する半導体製造プロセスを、雰囲気の状態に拘らず適正な状態で遂行できる半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide an apparatus and a method for producing hydrogen by a thermochemical process, in each of which hydrogen can be efficiently produced by cleaning/recovering iodine stuck to the inner wall of a vessel.例文帳に追加

容器の内壁に付着したヨウ素が洗浄され回収されて効率的な水素製造を可能とする熱化学法による水素製造装置及びその装置を提供する。 - 特許庁

To create control variables being the level of liquid and operation variables being flow rate for controlling the generation amounts of hydrogen and oxygen to be H_2:O_2=2:1 in an apparatus so that hydrogen can be stably produced by utilizing a thermochemical hydrogen production method.例文帳に追加

熱化学水素製造法を用いて、安定に水素を製造できるように、水素と酸素の発生量を、H_2:O_2=2:1になるように制御するための、制御変数及び操作変数を装置内に創出する。 - 特許庁

In the manufacturing process of a semiconductor device, a method is indicated, where the method includes a step for exposing the surface of the substrate to a rapid thermochemical vapor deposition(RTCVD).例文帳に追加

半導体デバイスの製造プロセスにおいて、基板の表面を、窒化膜を形成する急速熱化学蒸着（ＲＴＣＶＤ）プロセスに暴露する段階を含む方法を示す。 - 特許庁

例文

To provide a hydrogen manufacturing apparatus using a thermochemical method and a method of using the same, in which a hydrogen yield can be increased, while maintaining nearly the same level of the scale of apparatus and heat efficiency required during hydrogen iodide decomposition.例文帳に追加

ヨウ化水素の分解時の装置規模や熱効率を同程度に維持したまま、水素生成率の向上が図れる熱化学法水素製造装置及びその方法を提供する。 - 特許庁

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	※この記事は「日本法令外国語訳データベースシステム」の2010年9月現在の情報を転載しております。


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