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連続クライオポンプの部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 1件
蒸着による酸化マグネシウム膜の作製で、真空容器への酸素ガスの導入量が相対的に少量であっても膜質の良好な例えば〈１１１〉配向性の酸化マグネシウム膜を作製し、クライオポンプを量産用作製装置に搭載すること、作製装置の連続稼働時間を延ばすことを可能にする。例文帳に追加
To produce a magnesium oxide film of good film quality, e.g. having <111> orientation properties even in the case the amt. of gaseous oxygen to be introduced into a vacuum vessel is relatively small in the production of a magnesium oxide film by vapor deposition, to mount a cryopump on a producing device for mass production and to prolong the continuous working time of the producing device. - 特許庁
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