意味 | 例文 (2件) |
種の起原の部分一致の例文一覧と使い方
該当件数 : 2件
高周波プラズマ発生セルから放出されるHB(High brightness)放電プラズマフラックスに含まれる電気的に中性な励起原子、基底原子および励起分子を含む活性種量を、電流をもって直接的に検出し、該検出電流値に基づき活性種フラックス量を算定する、高精度でかつ製造コストの安価な原子フラックス測定装置を提供すること。例文帳に追加
To provide an atomic flux measuring device with high precision and of low manufacturing cost which directly detects with a current the amount of active species including excited atoms, base atoms, and excited molecules of electric neutrality contained in HB (high brightness) discharge plasma flux emitted from a high frequency plasma generating cell, and calculates the amount of the active species flux based on the detected current value. - 特許庁
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