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spin-on-glassとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 スピンオンガラス
「spin-on-glass」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 86件
A spin-on-glass(SOG) film, having absorption coefficient of 2000 cm^-1 or more, is formed as the insulation film.例文帳に追加
絶縁膜として、吸収係数が2000cm^-1以上のSOG(Spin On Glass )膜が成膜されている。 - 特許庁
An interlayer insulating film 15 containing a SOG (Spin On Glass) film 13 is formed on the surface of the semiconductor substrate 10 including the surfaces of the metallic layers 6.例文帳に追加
当該金属層6上を含めた半導体基板10の表面上にはSOG(Spin On Glass)膜13を含む層間絶縁膜15を形成する。 - 特許庁
Thereafter, after an oxide film 17 is formed, an undercut of the gate electrode 15 is embedded and flattened to form a SOG (spin-on-glass) film 18.例文帳に追加
後酸化膜17の形成後、ゲート電極15の段差を埋め平坦化するためにSOG(Spin On Glass)膜18を形成する。 - 特許庁
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「spin-on-glass」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 86件
SPIN-ON GLASS MATERIAL FOR ANODE BONDING OF SPACER AND ITS BLENDING METHOD例文帳に追加
スペーサを陽極接合するスピンオンガラス材料とその配合方法 - 特許庁
To improve flattening characteristics and productivity of a spin-on- glass film.例文帳に追加
スピンオングラス膜の平坦化特性及び生産性を向上させること。 - 特許庁
A spin-on-glass (SOG) material is embedded in the recesses in shape.例文帳に追加
スピンオンガラス(SOG)材料が該形状的窪みに埋められる。 - 特許庁
SPIN-ON GLASS ANTIREFLECTIVE COATING FOR PHOTOLITHOGRAPHY例文帳に追加
フォトリソグラフィ用のスピンオングラス反射防止性コーティング - 特許庁
A spin-on glass (SOG) material is filled into shape-like recesses.例文帳に追加
スピンオンガラス(SOG)材料が該形状的窪みに埋められる。 - 特許庁
A spin-on-glass film is applied on the wafer 120, and a spin-on-glass solvent is jetted in a sealed vessel containing the wafer 120 for the vapor of solvent to be saturated in the vessel, and the wafer 120 is so rotated that the spin-on-glass film redissolves for flattened the surface of the spin-on-glass film.例文帳に追加
ウェーハ120上にスピンオングラス膜を塗布して、ウェーハ120を含む密閉された容器内にスピンオングラス溶剤を噴射して、溶剤の蒸気が容器内に飽和されるようにし、ウェーハ120を回転させてスピンオングラス膜が再溶解されるようにし、スピンオングラス膜の表面を平坦化させる。 - 特許庁
SPIN-ON-GLASS COMPOSITION, ITS MANUFACTURING METHOD, METHOD FOR MANUFACTURING PORUS SILICON OXIDE FILM例文帳に追加
スピンオンガラス組成物、その製造方法、及びそれを用いた多孔性シリコン酸化膜の製造方法 - 特許庁
SPIN ON GLASS COMPOSITION AND METHOD FOR FORMING SILICON OXIDE FILM USING THE SAME例文帳に追加
スピンオンガラス組成物及びこれを利用した半導体装置のシリコン酸化膜の形成方法 - 特許庁
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