sperとは 意味・読み方・使い方

By use of a Solid Phase Epitaxial Regrowth (SPER) process for Si nMOS, the thermal budget for the Si nMOS can be lowered to be compatible with Ge pMOS.例文帳に追加

ＳｉのｎＭＯＳに対して固相再成長（ＳＰＥＲ）プロセスを用いることで、ＳｉのｎＭＯＳのための熱量は、ＧｅのｐＭＯＳと両立するまで低くすることができる。 - 特許庁

Activation of Ge n-type dopants and reasonable SPER rates for Si provide a practical lower limit on temperature of 500°C, and the melting of Ge provides an upper limit of 937°C.例文帳に追加

Ｇｅのｎ型ドーパントの活性化と、Ｓｉの妥当なＳＰＥＲ速度は、５００℃の温度の実際の下限を与え、Ｇｅの溶融は、９３７℃の上限を与える。 - 特許庁