plasmolyzedとは 意味・読み方・使い方

With this, the gaseous target 210 gets plasmolyzed to emit EUV light.例文帳に追加

これにより、ガス状ターゲット２１０はプラズマ化してＥＵＶ光を放射する。 - 特許庁

A recovery device 160 to recover the plasmolyzed treating gas emitted from plasma generating nozzles 31 is installed.例文帳に追加

プラズマ発生ノズル３１から放出されたプラズマ化された処理ガスを回収する回収装置１６０を設ける。 - 特許庁

Injection ports 25 are formed in the second electrode 20, and the treatment gas plasmolyzed in the discharge space 1p is injected toward an object 9 to be treated.例文帳に追加

第２電極部２０には噴出口２５を設け、放電空間１ｐでプラズマ化された処理ガスを被処理物９へ向けて噴出する。 - 特許庁

Gas supplied in the chamber CH is plasmolyzed by microwaves output from the magnetrons M1 to M3 supplied with power, and a substrate G is put under a plasma treatment by the plasma generated.例文帳に追加

電力を供給されたマグネトロンＭ１〜Ｍ３から出力されるマイクロ波によりチャンバＣＨ内に供給されたガスがプラズマ化され，生成されたプラズマにより基板Ｇがプラズマ処理される。 - 特許庁

To provide a plasma generator used in processing of a workpiece such as reforming of a substrate in which after-treatment of a plasmolyzed treating gas irradiated on the workpiece to be treated is carried out.例文帳に追加

基板の改質等、ワークの処理などに使用されるプラズマ発生装置において、被処理ワークに照射されたプラズマ化した処理ガスの後処理を行うようにする。 - 特許庁

The plasma-generating nozzle 31 for blasting off dust on the work W by discharging plasmolyzed gas is provided with a dust-collecting device 120 for collecting the dust which the gas turned into plasma discharged from the plasma-generating nozzle 31 has blasted off.例文帳に追加

プラズマ発生ノズル３１は、プラズマ化されたガスを放出してワークＷの上の塵埃を吹き飛ばすものであり、プラズマ発生ノズル３１から放出されるプラズマ化されたガスが吹き飛ばした塵埃を収集する集塵装置１２０をさらに備えている。 - 特許庁