neopentaneとは 意味・読み方・使い方

Propane, isobutane, normal butane, normal pentane, isopentane or neopentane can be employed as the blowing agent.例文帳に追加

発泡剤として、プロパン、イソブタン、ノルマルブタン、ノルマルペンタン、イソペンタン、ネオペンタンを用いてもよい。 - 特許庁

Hydrogen including atomic hydrogen obtained by exciting hydrogen is introduced into a deposition tank with a vacuum degree of ≤1×10-8 Torr, and, moreover, gaseous methyl obtained by thermally exciting neopentane [C(CH3)4] is introduced therein, by which a diamond thin film is grown on the surface of a member to be film-deposited arranged in the deposition tank and heated to a desired temperature.例文帳に追加

真空度が１×１０^-8 Ｔｏｒｒ以下の成長槽内に水素を励起することで得られる原子状水素を含む水素を導入するとともに、ネオペンタン［Ｃ（ＣＨ_3）_4］を熱励起して得られるメチルガスを導入することにより前記成長槽内に配置され、所望の温度に加熱された被成膜部材表面にダイヤモンド薄膜を成長することを特徴とする。 - 特許庁

In the region in which at least one optical element in the aligner is installed, the exposure method is conducted in such way that the gas partial pressure of methan, ethan, propane, butane, iso butane, neopentane, cyclopropane, cyclobutane, pentane, octane or these admixtures is controlled to be 1.5E-8Pa or more, 1.0E-2Pa or less.例文帳に追加

露光装置内の少なくともひとつの光学素子が設置されている領域において、メタン、エタン、プロパン、ブタン、イソブタン、ネオペンタン、シクロプロパン、シクロブタン、ペンタン、オクタンもしくはこれらの混合物のガス分圧を１．５Ｅ−８Ｐａ以上１．０Ｅ−２Ｐａ以下に制御することを特徴とする露光方法、露光装置、及びパターン形成方法。 - 特許庁