SEM画像の英語

To provide an SEM imaging method applicable to uses about samples comprising unknown composition/geometry.例文帳に追加

未知の組成/幾何学形状を有する試料に関する用途に適応できるSEM画像化法を提供する。 - 特許庁

An aperture with a plurality of openings is used to determine correction condition of aberration from a SEM images and feed back to adjust the aberration correction device.例文帳に追加

複数開口をもつ絞りを使用することにより、収差の補正状態をSEM画像から判定して、収差補正手段の調整にフィードバックする。 - 特許庁

The variation of shape is compensated using information of the edge in every direction and a smoothing method in the case a matching process between design data and a SEM image is carried out.例文帳に追加

また、設計データとSEM画像のマッチング処理を行う場合に方向別のエッジ情報とその平滑化により形状変化分を補う。 - 特許庁

Furthermore, the SEM image corresponding to a detected position is registered again as a template, and the matching process is carried out.例文帳に追加

さらに検出された位置に対応したSEM画像をテンプレートとして再登録しなおしマッチング処理を行う。 - 特許庁

An upper layer pattern and a lower layer pattern are subjected to pattern matching between SEM (Scanning Electron Microscope) images, to thereby generate an upper layer correlation map and a lower layer correlation map.例文帳に追加

上層パターンと下層パターンをそれぞれSEM画像の間でパターン・マッチングを行ない、上層相関マップと下層相関マップを生成する。 - 特許庁