LWRとは 意味・読み方・使い方

LWR FLOW CHANNEL WHOSE DEFORMABILITY AND CONTROL BLADE COHERENCE ARE LOWERED WHEN IT IS EXPOSED TO NEUTRON RADIATION AND CORROSION FIELD例文帳に追加

中性子放射及び腐食場にさらされたときの変形性及び制御羽根干渉性を低下させたＬＷＲ流路 - 特許庁

To achieve further improvement of line edge roughness (LWR) in a chemically-amplified photoresist composition.例文帳に追加

化学増幅型フォトレジスト組成物において、ラインエッジラフネス（ＬＷＲ）の更なる改善を図ること。 - 特許庁

Thus the line width roughness (LWR) can be reduced and characteristics of the semiconductor device can be improved.例文帳に追加

これにより、ラインばらつき（ＬＷＲ）を低減することができ、半導体装置の特性を向上させることができる。 - 特許庁

To provide a method for producing a resin for resist compositions capable of giving resist patterns having excellent line width roughness (LWR).例文帳に追加

優れたラインウィドゥスラフネス（ＬＷＲ）を有するレジストパターンを得ることができるレジスト組成物用の樹脂の製造方法を提供する。 - 特許庁

To provide a pattern forming method for preventing deformation of a photoresist pattern and increase in LWR when spacers are formed on side walls of the pattern.例文帳に追加

フォトレジストパターンの側壁にスペーサーを形成する際のパターンの変形やＬＷＲの増大を防ぐことができるパターン形成方法。 - 特許庁

To provide a resist composition which provides a pattern having an excellent line width roughness (LWR).例文帳に追加

優れたラインウィズスラフネス（ＬＷＲ）を有するパターンを得ることができるレジスト組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation-sensitive resin composition which is capable of forming a resist pattern that has low LWR and excellent pattern shape.例文帳に追加

ＬＷＲが小さく、かつ、パターン形状に優れたレジストパターンを形成可能である感放射線性樹脂組成物を提供する。 - 特許庁

To provide a radiation sensitive resin composition which satisfies not only fundamental characteristics such as sensitivity, resolution or light exposure margin, but also LWR (line width roughness) performance.例文帳に追加

感度、解像性、露光量マージン等の基本特性だけでなく、ＬＷＲ性能をも満足する感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁