露可の英語

露光装置、該露光装置における可変パターン生成装置の交換方法及び露光方法例文帳に追加

ALIGNER AND EXCHANGING METHOD AND EXPOSURE METHOD FOR VARIABLE-PATTERN FORMING DEVICE IN EXPOSURE DEVICE - 特許庁

所望の露光位置に正確に露光することが可能な露光装置を提供する。例文帳に追加

To provide an exposure device capable of performing exposure precisely at a desired exposure position. - 特許庁

アライメント精度の高い分割露光が可能な露光装置を提供する。例文帳に追加

To provide an exposure apparatus performing division exposure with high alignment accuracy. - 特許庁

露点を正確に計測可能な露点計測システムを提供する。例文帳に追加

To provide a dew point measurement system capable of accurately measuring a dew point. - 特許庁

可変矩形型電子ビーム露光装置及びパターン露光・形成方法例文帳に追加

VARIABLE RECTANGULAR ELECTRON BEAM EXPOSURE APPARATUS AND PATTERN EXPOSURE FORMATION METHOD - 特許庁

三次元的な露光が可能な実用的な露光装置を提供する。例文帳に追加

To provide a practical exposure apparatus capable of performing three-dimensional exposure. - 特許庁

適正な露光を行うことが可能な露光制御システムを提供する。例文帳に追加

To provide an exposure control system capable of performing proper exposure. - 特許庁

可変スリット装置、照明光学装置、露光装置、及び露光方法例文帳に追加

VARIABLE SLIT DEVICE, ILLUMINATION OPTICAL DEVICE, ALIGNER, AND METHOD OF EXPOSURE - 特許庁