重イオン加速器の英語

この場合、ＩＨ型線形加速器３０としては、ＡＰＦ収束及び補助的に四重極収束機能を備えたＩＨ型線形加速器３０とすると、イオン注入装置を更に、小型化、省電力化することが可能となる。例文帳に追加

In this case, the ion implanting device can be made more compact and power-saving, if the IH type linear accelerator 30 is made provided with an APF convergence function, and supplementarily, a quadrupole convergence function. - 特許庁

この場合、イオン源２０として、大気圧型ターミナル２２を具備したＥＣＲイオン源２０を用い、第１及び第２のＩＨ型線形加速器３０、４０としては、それぞれ、ＡＰＦ−ＩＨ（四重極収束系を含む）型線形加速器とするとよい。例文帳に追加

In this case, an ECR ion source 20 having an atmospheric pressure type terminal 22 is employed as the ion source 20, and then the first and the second IH type linear accelerators 30, 40 are preferably APF-IH (including a quadrupole convergence system) type linear accelerators. - 特許庁

イオン源により生成されたイオンビーム１０ａを加速する高周波４重極加速器７を有し、高周波４重極加速器７によって加速されたイオンビーム１０ａを基板１１に注入した後、基板１１を加熱することにより基板内部に水素層を形成させて薄膜を基板から剥離させる。例文帳に追加

The system has a high frequency quadrupole accelerator 7 which accelerates ion beams 10a generated by an ion source and after the ion beams 10a accelerated by the quadrupole accelerator 7 are implanted to a substrate 11, the thin film is separated from the substrate 11 by generating a hydrogen layer in the substrate by heating the substrate 11. - 特許庁

陽子、重陽子又はヘリウムイオンからなる大電流、高エネルギーイオンビームを生成するためのシングルエンド直流線形加速器を提供する。例文帳に追加

To provide a single-ended DC linear accelerator for the generation of high-current, high-energy ion beams of H, D or He. - 特許庁

生成されたイオンビームは、静電レンズ２１によって収束され、後段加速器２２によって加速され、四重極レンズ２３によって整形されて、処理室３１内に配置された半導体ウエハＷ上に照射される。例文帳に追加

The formed ion beam is converged by an electrostatic lens 21, is accelerated by an after-accelerator 22, is shaped by a quadrupole lens 23, and irradiates a semiconductor wafer W arranged in a process chamber 31. - 特許庁

陽子をＲＦＱ１２ａ、ＤＴＬ１２ｂで加速してターゲット２０に照射する加速器１０の四重極電極１３及びドリフトチューブ１４のイオンビームＲに対向する内面、ビーム伝送ダクト１５の内面、コリメータ電極１５ｂの表面に、金メッキを施す。例文帳に追加

Gold plating is applied to the inside surfaces facing to an ion beam R of a quadrupole electrode 13 of this accelerator 10 for irradiating a target 20 with protons by accelerating them by an RFQ 12a and a DTL 12b, and drift tubes 14, the inside surface of a beam transmission duct 15, and a surface of a collimator electrode 15b. - 特許庁