連続式蒸留機の英語

また、炭酸成分を炭酸アルカリとして固定した使用済レジスト剥離液を、蒸留回収工程において、連続式又は回分式に蒸留することにより、炭酸アルカリなどの無機成分及びレジスト成分を釜残として分離する一方、蒸発ベーパを精留塔に供給し、水や溶剤などの低沸点不純分を分離してレジスト剥離液成分を回収する。例文帳に追加

Or, the used resist removing liquid in which the carbonic acid component is fixed as an alkali carbonate is subjected to continuous or batch distillation in a distillation and recovery process to separate the inorganic component such as alkali carbonates and the resist component as a still residue, and the vaporized fraction is supplied to a fractionating tower to separate the low boiling point impurities such as water and solvents to recover the resist removing liquid component. - 特許庁