発生ステージの英語

パルスチューブ冷凍機のコールドヘッドが、寒冷を発生する第１の冷却ステージ、及び第１の冷却ステージよりも低温になる第２の冷却ステージを含む。例文帳に追加

The cold head of a pulse tube refrigerator includes a first cooling stage where cold is generated and a second cooling stage where temperature is decreased to a value lower than that of the first stage. - 特許庁

また、前記ヒータ線４を加熱して高真空容器をベークしても、その外に配置されたステージ駆動手段やステージは加熱されないので、従来発生していたベークによるステージの精度の劣化を防止することができる。例文帳に追加

As the stage driving means and the stages arranged on the outside are not heated even when a heat wire 4 is heated for baking the high vacuum container, deterioration in accuracy, which is conventionally caused in the stage because of baking, can be prevented. - 特許庁

基板ステージ、パターニングデバイスステージ（例えばマスクステージ）、冷却デバイス等の移動により、リソグラフィ装置の投影系（投影レンズとも呼ばれる）に作用する振動または他の外乱の発生を抑制する。例文帳に追加

To suppress the occurrence of vibrations or other disturbances which may act on a projection system of a lithographic apparatus (also referred to as a projection lens) by movements of a substrate stage, a patterning device stage (for example, a mask stage), a cooling device etc. - 特許庁

ステージ可動部がステップ移動した時に発生するギャップ変動量を低減できるステージ装置、および該ステージ装置を備えてスループットおよび露光精度の向上が可能な露光装置を提供する。例文帳に追加

To provide a stage system which can reduce the fluctuating amount of a gap that occurs when a mobile stage section moves in steps, and to provide an exposure apparatus which is provided with the stage system and can be improved in throughput and exposure accuracy. - 特許庁

加熱用浮上ステージの上で（特にステージ入口付近で）被処理基板に反りが発生するのを防止し、浮上ステージ上の基板浮上ギャップを一定に保つ。例文帳に追加

To provide a substrate treating device capable of preventing a substrate to be treated from warping on a rising stage for heating (in particular, in the vicinity of stage inlet) to keep a rising gap in the substrate on the rising stage constant. - 特許庁

インスツルメンテーションアンプは、出力電圧を発生する出力ステージ、該出力ステージと結合されている低周波数経路、該出力ステージと結合されている高周波数経路を包含している。例文帳に追加

The instrumentation amplifier includes an output stage for generating an output voltage, a low-frequency path coupled with the output stage, and a high-frequency path coupled with the output stage. - 特許庁

ステージの清掃作業を簡単にするだけでなく、ステージからガラスを持ち上げるときに発生する静電気を最小化するディスペンサステージのガラス吸着構造を提供する。例文帳に追加

To provide a structure for sucking glass in a stage of a dispenser which not only makes the cleaning work of the stage simple but also minimizes the static electricity generated when lifting the glass from the stage. - 特許庁

従ってステージの停止に起因して発生していたステージを支持する支持体の振動を抑制することができるので、各ステージの位置制御性、ひいては重ね合わせ精度を向上することができる。例文帳に追加

Therefore, since this has the ability to suppress vibrations of a support body for supporting the stage occurred arising from the stop of the stage, positioning control and in turn overlay accuracy can be improved. - 特許庁