高周波結合プラズマリアクタにおいて、被加工物支持体から、又は、該支持体へ熱を伝達するに当たり、該被加工物支持体内に設けられている内部流路内に冷却剤を配置することと、該被加工物支持体の該内部流路が冷却ループの蒸発器を構成する該冷却ループを介して該冷却剤を循環させることにより、該冷却剤から、又は、該冷却剤へ熱を伝達させることとを含む。例文帳に追加

In transferring heat from or to a workpiece supporter in a high-frequency coupled plasma reactor, this method includes: placing a coolant in an internal flow channel provided in the workpiece supporter; and transferring the heat from or to the coolant by circulating the coolant through a refrigeration loop in which the internal flow passage of the workpiece supporter constitutes an evaporator of the refrigeration loop. - 特許庁

管部材を複数グループにしたり、熱伝導部材を保持部材とは別の部品として管部材の直線部分の外周面に合わせた熱伝達表面を持たせることもできる。例文帳に追加

Also, the pipe members can be grouped, or the thermal conduction member can be provided as a component separate from the retaining member, and a heat transfer surface fitting outer circumferential faces of the straight portions of the pipe members can be provided. - 特許庁

例文

偏心分銅を装置した振動モーターやムービングコイルまたはムービングマグネット等のバイブレーターを、ゴム弾性をもつ熱可塑性エラストマーからなる連続線条のランダムループを３次元スプリング構造化した振動伝達体に配置し、又バイブレーターをスパイラルチューブに挿入設置したことを特徴とするバイブレーター振動伝達装置である。例文帳に追加

The vibrator such as a vibration motor, a moving coil, a moving magnet or the like equipped with an eccentric counterweight is arranged to a vibration transmitting body constituted by forming a continuous linear random loop comprising a thermoplastic elastomer having rubbery elasticity into a three-dimensional spring structure or the vibrator is inserted and installed in a spiral tube to constitute the vibration transmitting device of the vibrator. - 特許庁