検査評価用装置の英語

欠陥検査装置用テストパターンウエハ、その製造方法及びそれを用いた欠陥検査装置の評価方法例文帳に追加

TEST PATTERN WAFER FOR DEFECT INSPECTING DEVICE, ITS MANUFACTURING METHOD, AND EVALUATION METHOD OF DEFECT INSPECTION APPARATUS USING IT - 特許庁

検査装置１３は、合成された３Ｄ負事例画像を擬似的に撮影した疑似２Ｄ画像を用いて視覚検査装置の評価を行う。例文帳に追加

An inspection apparatus 13 evaluates the visual inspection apparatus by a pseudo two-dimensional image obtained by artificially photographing the composited three-dimensional negative instance image. - 特許庁

周期性のあるパターンをもつ被検査体のムラ検査をする検査装置の、ムラ欠陥検出能力やムラ欠陥の周期性を検出・解析する能力を評価することが可能な、評価用パターンおよびその評価用パターンを形成したフォトマスクを提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide a pattern for evaluation and a photomask for forming the pattern for evaluation capable of evaluating irregularity defect detection capacity and capacity for detecting and analyzing periodicity of irregularity defects in an inspection device for inspecting irregularities of a body to be inspected having a periodic pattern. - 特許庁

周期性のあるパターンをもつ被検査体のムラ検査をする検査装置の、ムラ欠陥検出能力やムラ欠陥の周期性を検出・解析する能力を評価することが可能な、評価用パターンおよびその評価用パターンを形成したフォトマスクを提供することを目的とする。例文帳に追加

To provide an evaluation pattern for evaluating the capabilities of an inspection device that detects an irregular pattern of an object having a periodic pattern, or the capabilities of detecting and analyzing the periodicity of the irregular pattern, and to provide a photomask having the evaluation pattern formed therein. - 特許庁

異なる検査モードに対し互いに評価でき、より最適化される検査条件を容易に導き出せる半導体装置の検査方法及び検査用ウェハ及び検査用パターンマスクを提供する。例文帳に追加

To provide an inspection method for a semiconductor device, a wafer for inspection, and a pattern mask for inspection capable of mutually evaluating different inspection modes and easily deriving a more optimized inspection condition. - 特許庁

多目的最適化装置１は、受け取ったLDPC符号検査行列評価値を用いて最適なLDPC符号を定義する検査行列を作成する。例文帳に追加

The multipurpose optimization device 1 creates a check matrix defining an optimum LDPC code by using the received LDPC code inspection matrix evaluation value. - 特許庁

より詳細で定量的な評価を高スループットで実現できる電子線を用いた検査方法および検査装置を提供する。例文帳に追加

To provide an inspection method using an electron beam and an inspection device which realize a more detailed and fixed quantity evaluation with a high throughput. - 特許庁

小さな検出領域での信頼性のある検査要素の評価を可能とする検査要素用位置付け装置を提供する。例文帳に追加

To provide a positioning device for an inspection element capable of evaluating reliably the inspection element in a narrow detection area. - 特許庁