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微動手送りの英語
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該当件数 : 1件
レーザーダイシング装置10のレーザーヘッド40には、レーザー発振器21、集光レンズ24、集光レンズ24をウェーハWに平行に往復微小送りする圧電素子からなるリニア微動手段を設け、レーザー光を加工方向であるX方向に振動させながらウェーハWに繰返し照射するようにした。例文帳に追加
The laser head 40 of the laser dicing apparatus 10 is provided with a laser oscillator 21, a condenser lens 24 and a linear fine movement means consisting of a piezoelectric element for finely sending the condenser lens 24 back and forth in parallel with a wafer W and the wafer W is repeatedly irradiated with laser light while oscillating the laser light in an X direction which is a working direction. - 特許庁
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