干渉測長器の英語

大波長範囲で低敏感度の干渉器は、光信号の波長のおおよその範囲を確認してから小波長範囲で高敏感度の干渉器により入射光線の波長を正確に測定する。例文帳に追加

The interferometer of the wide wavelength range and low sensitivity confirms a rough range of a wavelength of the light signal, and then a wavelength of an incident beam is measured accurately by the interferometer of the narrow wavelength range and high sensitivity. - 特許庁

位置計測システムは、レーザ光の干渉を利用して測定対象の位置を計測するレーザ干渉計と、レーザ光の波長の変化を検出する波長検出器とを有する。例文帳に追加

A position measurement system comprises: the laser interferometer measuring a position to be measured by utilizing the interference of laser beams; and the wavelength detector detecting a change in the wavelength of laser beams. - 特許庁

第１および第２の波長のレーザ光を原器６４および測定対象面４ａに出射して干渉を生じさせ、撮像管６７Ａ，６７Ｂによって第１の波長の干渉縞画像と第２の波長の干渉縞画像を個別に検出する。例文帳に追加

Laser beams of the first and second wave lengths are emitted to the primary standard 64 and the measuring object face 4a to generate interference, and an interference fringe image of the first wave length and an interference fringe image of the second wave length are detected separately by image picking-up tubes 67A, 67B. - 特許庁

測長結果から精度よくデッドパスの影響を排除するヘテロダインレーザー干渉測長器を提供する。例文帳に追加

To provide a heterodyne laser interferometric measuring machine which accurately eliminates the influence of a dead path from the measurement results. - 特許庁

平面原器６４で反射したレーザ光と測定対象面４ａで反射したレーザ光とが干渉し、撮像管６７Ａ，６７Ｂ，６７Ｃは、各波長毎に干渉縞画像を個別に検出する。例文帳に追加

The laser light reflected by a plane standard 64 and the laser light reflected by an object surface 4a to be measured interfere with each other and image pickup tubes 67A, 67B, and 67C individually detect interference fringe images by wavelengths. - 特許庁

レーザ干渉計測長器、露光装置、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法例文帳に追加

LASER INTERFEROMETER FOR MEASURING RANGE, EXPOSURE APPARATUS, DEVICE MANUFACTURING METHOD, SEMICONDUCTOR MANUFACTURING FACTORY AND METHOD FOR MAINTAINING EXPOSURE APPARATUS - 特許庁

機械的な駆動機構による被測定物の相対移動を必要とせず、しかも干渉縞の観察や分光器による波長分析も不要とする。例文帳に追加

To eliminate relative movement of an object to be measured by a mechanical drive mechanism, observation of interference fringes, and wavelength analysis by a spectroscope. - 特許庁

干渉信号検出器２より、光源より射出した所定の波長帯域の光を測定光と参照光とに分割し、分割した前記測定光が測定対象から反射した反射光と前記参照光とを合波し、合波した前記反射光と前記参照光との干渉光の強度を干渉信号として検出する。例文帳に追加

Light in a predetermined wavelength band emitted from a light source is divided into measurement light and reference light; reflected light produced by reflecting the divided measurement light from an object to be measured and the reference light are combined; and the intensity of the interference light of the combined reflected light and the reference light is detected by an interference signal detector 2. - 特許庁