レジスト系の英語

化学増幅系ポジ型レジスト例文帳に追加

CHEMICAL AMPLIFICATION SERIES POSITIVE TYPE RESIST - 特許庁

フォトレジスト用アクリル系樹脂及びフォトレジスト組成物例文帳に追加

ACRYLIC RESIN FOR PHOTORESIST AND PHOTORESIST COMPOSITION - 特許庁

レジスト膜を有機系レジスト剥離液で剥離するレジスト膜の剥離方法において、レジスト膜８が形成された導電体７を有機系レジスト剥離液中で電圧を印加し、導電体表面からガスを発生させる。例文帳に追加

In the method for peeling the resist film which peels the resist film with organic resist peeling liquid, a conductor 7 where the resist film 8 is formed is applied with a voltage in the organic resist film peeling liquid to produce gas from the conductor surface. - 特許庁

基板上にレジスト膜の微細パタンを形成するレジスト現像方法において、レジスト膜を化学増幅系レジストで形成するとともに、レジスト膜を露光する露光工程の後で、かつ、レジスト現像工程の前に、基板上のレジスト膜に交番電界を印加する。例文帳に追加

In this resist development method for forming the fine pattern of a resist film on a substrate, a resist film is formed with chemical amplification system resist, and an alternating electric field is applied to a resist film on the substrate after an exposure process to expose the resist film and before the resist development process. - 特許庁

フォトレジスト用（メタ）アクリル系単量体、その高分子化合物及びフォトレジスト用樹脂組成物例文帳に追加

METHACRYLIC OR ACRYLIC MONOMER FOR PHOTORESIST, POLYMER COMPOUND FROM THE SAME, AND RESIN COMPOSITION FOR PHOTORESIST - 特許庁

レジストには、ポリヒドロキシスチレン系樹脂を主成分とするレジストを使用する。例文帳に追加

A resist, consisting essentially of a polyhydroxystyrene based resin, is used as the resist. - 特許庁

高解像度ポジ型化学増幅系レジスト材料及びそれを用いたレジストパターン形成方法例文帳に追加

HIGH-RESOLUTION POSITIVE TYPE CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST MATERIAL AND RESIST PATTERN FORMING METHOD USING THE SAME - 特許庁

マレイミド系共重合体及びレジスト用組成物例文帳に追加

MALEIMIDE COPOLYMER AND COMPOSITION FOR REGIST - 特許庁