ラインスロットアンテナの英語

プラズマ成膜装置１の処理容器２内の底部に載置台３を設け，上部にラジアルラインスロットアンテナ１２を設ける。例文帳に追加

A mounting pedestal 3 is provided in the bottom portion of a processing container 2 of an apparatus 1 for forming a film by a plasma, and a radial line slot antenna 12 is provided in the upper portion of the apparatus 1. - 特許庁

ラジアルラインスロットアンテナを有するマイクロ波プラズマ処理装置において、異常放電を抑制し、マイクロ波プラズマの励起効率を向上させる。例文帳に追加

To suppress abnormal discharge for improving the excitation efficiency of microwave plasma in a microwave plasma processing apparatus, having a radial slotted line antenna. - 特許庁

マイクロ波プラズマ処理装置１０は、ラジアルラインスロットアンテナ２０５から放出されたマイクロ波の電界エネルギーによりガスを励起させ、基板Ｇをプラズマ処理する。例文帳に追加

The microwave plasma processing apparatus 10 excites gas by electric field energy of microwaves emitted from a radial line slot antenna 205 in order to perform plasma treatment of a substrate G. - 特許庁

マイクロ波プラズマ処理装置１０は、ラジアルラインスロットアンテナのスロット板２０５ｂから放出されたマイクロ波の電界エネルギーによりガスを励起させ、基板Ｗをプラズマ処理する。例文帳に追加

The microwave plasma processing apparatus 10 performs plasma processing on a substrate W by exciting gas due to the electric field energy of the microwaves emitted from a slot plate 205b of a radial line slot antenna. - 特許庁

ラジアルラインスロットアンテナを使ったマイクロ波プラズマ処理装置において、アンテナ中の遅波板とマイクロ波放射面を構成するスロット板との間の密着性を向上させ、異常放電を防止する。例文帳に追加

To prevent an abnormal discharge by improving the adhesion property between a slow-wave plate in a radial line slot antenna of a microwave plasma treatment system using this antenna and slot plates constituting a microwave radiation surface. - 特許庁

ラジアルラインスロットアンテナ２０と同軸導波管２１との接続部において、同軸導波管中の給電線２１Ｂの先端部を、放射面を構成するスロット板１６から離間させる。例文帳に追加

In the junction between a radial slotted antenna 20 and a coaxial waveguide 21, the top end of a feed wire 21B in the coaxial waveguide is spaced from a slotted plate 16 forming a radiation surface. - 特許庁

高い周波数のミリ波等でも損失が小さく、構造も簡単で安価に製作でき、またかなり小径化も達成できる同心円素子配列ラジアルラインスロットアンテナを提供する。例文帳に追加

To provide a simple and inexpensive concentric element arrangement radial line slot antenna in which loss is reduced even for a high frequency mellimeter waves and significant reduction in size can be achieved. - 特許庁

少なくとも一列に配列された複数個のラジアルラインスロットアンテナ（ＲＬＳＡ）モジュール２と、複数個のＲＬＳＡモジュールの各々に対して給電する給電回路４とを備える。例文帳に追加

A directional array antenna apparatus has: a plurality of radial line slot antenna (RLSA) modules 2 arranged in at least one row; and a power feeding circuit 4 that feeds power to each of the RLSA modules. - 特許庁