メカニカルブースタポンプの英語

真空排気システム１００の運転時には、全バルブ３，４，５，６，８を閉じた状態でメカニカルブースタポンプ（ＭＢＰ）９およびロータリポンプ（ＲＰ）１０を起動し、一旦メカニカルブースタポンプ９を停止してからスローラフバルブ（ＳＲＶ）４を開いた後に再びメカニカルブースタポンプ９を再起動するものである。例文帳に追加

When the vacuum exhaust system 100 is operated, the mechanical booster pump (MBP) 9 and a rotary pump (RP) 10 are started while all valves 3, 4, 5, 6 and 8 are closed, a slow rough valve (SRV) 4 is opened after stopping the mechanical booster pump 9 once, and then the mechanical booster pump 9 is restarted. - 特許庁

拡散接合を行うための接合装置１０を構成する接合容器１２には、窒素ガスボンベ２２、ロータリポンプ３０及びメカニカルブースタポンプ３１が接続されるとともに、圧力センサ３２が設置される。例文帳に追加

A nitrogen gas cylinder 22, a rotary pump 30 and a mechanical booster pump 31 are connected to a bonding vessel 12 which comprises a bonding apparatus 10 for performing diffusion bonding and also a pressure sensor 32 is installed. - 特許庁

メカニカルブースタポンプの負荷を軽減して長寿命化を図ることが可能であるとともに騒音の発生を防止することが可能な真空排気システムおよびその運転方法を提供する。例文帳に追加

To provide a vacuum exhaust system and an operation method therefor capable of reducing a load of a mechanical booster pump to prolong its service life and preventing the generation of noise. - 特許庁

そして、水素ガスの導入の直前には、高真空下にメカニカルブースタポンプ７５を含む真空排気系の真空洩れの有無を確認し、続いて、真空ポンプを停止して水素処理室１の圧力上昇試験を行い真空洩れのチェックを行う。例文帳に追加

Right before the hydrogen gas is introduced, the presence or not of vacuum leak from an evacuation system containing a mechanical booster pump 75 under a high vacuum is identified, followed by stopping the vacuum pump for performing pressure rise test in the hydrogen treatment chamber 1 and vacuum leak check. - 特許庁

真空アーク溶解炉１は、炉体６に吸引管路８を通じて接続された真空ポンプ設備を有しており、機械式のメカニカルブースタポンプ１２およびロータリポンプ１４を併用して炉体６内に真空雰囲気が形成される。例文帳に追加

The vacuum arc melting furnace 1 has vacuum pump equipment connected to a furnace body 6 through a suction pipeline, and a vacuum atmosphere is formed in the furnace body 6 by jointly using a mechanical booster pump 12 of a mechanical type and a rotary pump 14. - 特許庁

また、搬送室３１がメカニカルブースタポンプ４４およびロータリーポンプ４６によって数Ｐａに排気されているとき、処理室１を排気装置５０によって排気しながら仕切弁２２を開けて基板を搬送室３１と処理室１との間で搬送する。例文帳に追加

Further, when the transport chamber 31 is evacuated by a mechanical booster pump 44 and a rotary pump 46 to several Pa, the gate valve 22 is opened to transport the substrate between the transport chamber 31 and the processing chamber 1 while the processing chamber 1 is being exhausted by the evacuation system 50. - 特許庁

油拡散ポンプ１のインレットフランジ２には排気バルブ５の設けられた排気配管４が取り付けられ、アウトレットフランジ３には排気配管６が取り付けられ、メカニカルブースタポンプ７、ロータリポンプ８が接続されている。例文帳に追加

The inlet flange 2 of the oil diffusion pump 1 is attached with an exhaust piping 4 equipped with an exhaust value 5, and the outlet flange 3 of the oil diffusion pump 1 is attached with an exhaust piping 6 to be connected to a mechanical booster pump 7 and a rotary pump 8. - 特許庁