マイクロ波励起プラズマの英語

マイクロ波プラズマ処理装置において、プラズマ励起のためのガス導入経路での放電を防止する。例文帳に追加

To prevent discharge in a gas introducing path for plasma excitation, in a microwave plasma processing apparatus. - 特許庁

マイクロ波励起マイクロプラズマ生成のための携帯用電力供給装置例文帳に追加

PORTABLE POWER SUPPLY DEVICE FOR MICROWAVE EXCITATION MICROPLASMA GENERATION - 特許庁

無電極ランプ内のプラズマが、マイクロ波エネルギーで励起されて紫外線光を放射する。例文帳に追加

A plasma inside the electrodeless lamp is excited with the microwave energy to emit ultraviolet light. - 特許庁

マイクロ波を励起することによってチャンバ中でプラズマを発生させる装置。例文帳に追加

APPARATUS FOR GENERATING PLASMA IN CHAMBER BY MICROWAVE EXCITATION - 特許庁

本発明は、マイクロ波を励起することによってプラズマを発生させる装置に関する。例文帳に追加

To obtain an apparatus for generating plasma by exciting microwaves. - 特許庁

このマイクロ波励起プラズマによりウエハＷ表面にシリコン酸化膜を形成する。例文帳に追加

The microwave-excited plasma forms the silicon oxide film on the surface of a wafer W. - 特許庁

マイクロ波により励起させたプラズマを用いてプロセスガスからプラズマ生成物を生成し、被処理物の処理を行うプラズマ処理装置であって、前記プラズマが励起される領域にマイクロ波を導入するためのマイクロ波透過部材と、前記マイクロ波透過部材の厚み寸法を直接検出する厚み検出手段と、を備えることを特徴とするプラズマ処理装置が提供される。例文帳に追加

The plasma processing apparatus generates a plasma-generated object from a process gas using plasma excited by microwave and processes a workpiece, and is characterized by a microwave transmission member for introducing microwave to a region wherein the plasma is excited, and a thickness detection means to detect the thickness of the microwave transmission member directly. - 特許庁

ＳＷＰ処理装置１００は、マイクロ波導入部１０により導入されたマイクロ波により気密空間に表面波励起プラズマを生成し、該表面波励起プラズマにより被処理物を処理する処理室とを備える。例文帳に追加

The SWP processing apparatus 100 is equipped with a processing chamber which generates surface wave excitation plasmas in an airtight space by the microwaves introduced from the microwave introduction section 10, and processes a workpiece with the surface wave excitation plasmas. - 特許庁