ゲッタリング技術の英語

金奥不純物を除去するゲッタリングの効果を高めるために有利な技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technology favorable to enhance effectiveness of gettering to remove metallic impurities. - 特許庁

半導体ウェハのゲッタリング能力を向上させる技術および半導体ウェハの結晶欠陥を抑制する技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technique which enhances the gattering capability of a semiconductor wafer, and to provide a technique which restrains crystal defects of the semiconductor wafer. - 特許庁

ＭＣＰやＳＩＰなどでの薄厚加工時に導入されるCu等による汚染をゲッタリングして、半導体デバイスの歩留まりを向上させるためのゲッタリング技術を用いた、半導体デバイスの製造方法の提供。例文帳に追加

To provide a method of manufacturing a semiconductor device using gettering technique for improving the yield of the semiconductor device by gettering contaminations generated by Cu etc. introduced during film-thinning processing such as MCP and SIP. - 特許庁

デバイス動作に悪影響を及ぼす重金属不純物を除去する技術であるゲッタリング方法を改良し、高いゲッタリング能力を持った半導体デバイス用シリコン単結晶ウェーハ及びその作製法を提供する。例文帳に追加

To provide a silicon wafer for a semiconductor device, having high gettering performance by improving a gettering method as a technique for removing heavy metal impurities badly influencing a device operation, and to provide a manufacturing method thereof. - 特許庁

基板を反らせる量が小さく重金属の捕獲のために有利なゲッタリング技術を提供する。例文帳に追加

To provide a gettering technology that has a small amount of warpage in a substrate and is advantageous for capturing a heavy metal. - 特許庁

キャパシタの耐圧を決定する絶縁膜に被覆されているとともに不純物を高濃度に含んでいる半導体領域に、重金属をゲッタリングされにくくする技術を提供する。例文帳に追加

To provide a technology where heavy metal gettering scarcely occurs in a semiconductor region which is covered with an insulating film for determining the withstand voltage of the capacitor and contains a high concentration of impurity. - 特許庁

半導体基板１上の全面に多結晶シリコン膜５を成膜し、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術を用いて多結晶シリコン膜５をパターニングすることにより、スクライブ領域Ｒ３にゲッタリングサイト５ａを形成する。例文帳に追加

A poly-crystalline silicon film 5 is formed on the overall face of a semiconductor substrate 1, and the patterning of the poly-crsytalline silicon film 5 is carried out by using a photo-lithography technology and an etching technology so that a gettering site 5a can be formed in a scribe region R3. - 特許庁