ガス集束の英語

集束イオンビーム装置では、ヨウ素または二弗化キセノンなどのガスが金属や絶縁体のミリングを(補助的に)促進するために使われる。例文帳に追加

In the focused ion beam system, gases such as iodine or xenon difluoride are used to assist the milling of metals and insulators. 発音を聞く  - 科学技術論文動詞集

次の層を取り除く前に、酸素含有ガスと共に集束イオンビームスパッタリングを用いて、トレンチ底面を平滑にする。例文帳に追加

Prior to the removal of the next layer, focused ion beam sputtering with oxygen-containing gas smoothes the base of a trench. - 特許庁

また、加熱室５にガスを導入する工程と、導入されたガスを加熱室５で加熱する工程と、加熱したガスに材料を導入する工程と、導入された材料のプラズマを生成する工程と、このプラズマを集束させる工程と、集束させた後のプラズマを被処理体に吹き付ける工程とを含む微細部品の製造方法である。例文帳に追加

The method of manufacturing the fine component includes a step of introducing the gas into the heating chamber 5, a step of heating the introduced gas in the heating chamber 5, a step of introducing the material in the heated gas, a step of generating plasma of the introduced material, a step of converging the plasma, and a step of spraying the converged plasma on the workpiece. - 特許庁

イオンビームを発生させるプラズマ型ガスイオン源と、プラズマ型ガスイオン源から発生したイオンビームを試料上に集結させるイオン光学系を備えた集束イオンビーム装置である。例文帳に追加

The focused ion beam device is provided with a plasma type gas ion source to generate ion beams and an ion optical system to concentrate ion beams generated from the plasma gas ion source on a test piece. - 特許庁

抽出された残渣をAFM探針による物理的な除去または電子ビームガスアシストエッチングまたは集束イオンビームガスアシストエッチングで除去してモールドを再利用可能にする。例文帳に追加

The extracted residue is removed by physical removal by an AFM probe, electron beam gas assist etching, or focused ion beam gas assist etching to make the mold reusable. - 特許庁

このエッチング前駆体ガス、エッチング抑制ガスおよび集束ビームの組合せは、第１の材料を第２の材料に比べて選択的にエッチングする。例文帳に追加

A combination of the etching precursor gas, etching suppression gas, and focused beam selectively etches a first material, as compared to a second material. - 特許庁

被加工物表面にガスを供給して集束ビームで前記ガスを活性化させながら加工するとともに、加工の進行状況をモニタリングできる加工システムを提供する。例文帳に追加

To provide a processing system capable of processing a processing object by supplying gas to a surface of the processing object while activating the gas by a focused beam, and capable of monitoring the processing progress. - 特許庁

ガス通路を流れるブローバイガスの流向をガス通路に対して斜向する向きに集束させるようにブローバイガスの流向を水平偏向させるための第１整流面（１１）と、ブローバイガスの流向を垂直偏角させるための第２整流面（１２）を備えるガス整流板（１０）をガス通路に設置する。例文帳に追加

A gas passage is provided with a gas straightening plate 10 including: a first straightening face 11 horizontally deflecting a blow-by gas flow direction so that the flow direction of the blow-by gas flowing in the gas passage is collected in the direction inclined from the gas passage; and a second straightening face 12 vertically turning an angle of the blow-by gas flow. - 特許庁