什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_新建项目

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司

集成电路新建项目机电二次配是在集成电路工厂建设过程中的一个重要环节,主要涉及到在一次机电安装完成后,针对生产设备的具体需求进行的二次机电系统配置与调整。以下是其详细介绍:

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_机电二次配_02

一:主要内容

1,电气系统二次配

(1)设备配电:从一次配电系统的配电箱或配电柜引出分支线路,为每一台生产设备提供精准的电力供应,确保设备能获得稳定、符合要求的电压和电流。

(2)特殊电力需求配置:集成电路生产设备中有部分设备对电力质量要求极高,如光刻机等,二次配会针对这类设备进行特殊的电力配置,包括安装高精度的稳压器、滤波器等,以消除电力波动和干扰。

(3)接地与防雷系统完善:除了满足设备正常运行的接地需求外,还需针对集成电路生产的高精度要求,进一步优化静电释放接地系统,确保生产环境中的静电能够快速、安全地导入大地,防止静电对芯片等敏感部件造成损害。

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_生产环境_03

(4)通风与空调系统(HVAC)二次配

(5)洁净室气流优化:根据生产工艺对洁净度的要求,通过调整风口位置、数量和形状,以及安装空气导流板等措施,优化洁净室内的气流组织,确保空气均匀流动,减少涡流和死角,提高洁净室的洁净度和温湿度均匀性。

(6)局部环境控制:对于一些对环境条件要求极为苛刻的生产工序,如光刻、刻蚀等,需要在设备附近设置局部的微环境控制系统,通过安装小型的空调机组、空气净化设备等,为这些关键设备营造出最适宜的生产环境。

2,纯水与工艺气体系统二次配

(1)纯水分配系统:将一次配提供的纯水通过二次配管道输送到各个生产设备的用水点,并且根据不同设备对水质的具体要求,在用水点附近设置水质监测和调节装置,确保供应的纯水质量稳定且符合设备运行需要。

(2)工艺气体输送:从气体站输送来的各种工艺气体,如氮气、氧气、硅烷等,需要通过二次配的管道系统精确地分配到每一台需要的设备处。在二次配过程中,要确保气体管道的材质符合气体性质要求,防止气体泄漏和污染。

二:重要性

1,满足生产工艺需求:集成电路生产工艺复杂且精度要求极高,不同的生产环节对机电环境的要求各不相同。机电二次配能够根据具体设备和工艺的需求,精确调整和优化机电系统,为生产提供稳定、适宜的环境。

2,提高生产效率和产品质量:通过合理的机电二次配,可以减少设备故障和停机时间,提高生产效率。同时,精准的环境控制有助于降低产品的次品率,提高产品质量和一致性。

3,保障生产安全:集成电路生产过程中涉及到许多危险化学品和高精密设备,机电二次配在完善接地、防雷、通风等系统方面发挥着重要作用,能够有效预防安全事故的发生,保障生产人员和设备的安全。

集成电路新建项目机电二次配的施工流程是怎样的?

集成电路新建项目机电二次配的施工流程一般可分为施工准备、管道与桥架安装、设备安装与连接、系统调试与测试、竣工验收等多个阶段,以下是详细介绍:

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_系统调试_04

三:施工准备阶段

1,图纸会审与技术交底:施工团队仔细审查机电二次配的施工图纸,与设计单位沟通,理解设计意图,明确施工要求和技术标准,同时对施工人员进行技术交底。

2,施工方案制定:根据项目特点和要求,制定详细的施工方案,包括施工进度计划、施工方法、质量控制措施、安全保障措施等。

3,材料与设备采购:根据施工图纸和预算,采购所需的各种材料、设备和构配件,并确保其质量符合要求,具备相关的质量证明文件。

4,场地准备:清理施工现场,确保施工区域干净、整洁,具备良好的施工条件。同时,根据施工需要,搭建临时设施,如仓库、办公室、加工区等。

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_机电二次配_05

5,管道与桥架安装阶段

(1)管道预制:根据施工图纸和现场实际测量尺寸,在加工区对管道进行预制加工,包括切割、坡口加工、焊接、弯曲等操作。

(2)管道安装:按照先主管后支管的顺序,将预制好的管道运至施工现场进行安装。管道安装应遵循相关规范和标准,确保管道的坡度、垂直度、水平度等符合要求。

(3)桥架安装:根据设计要求,确定桥架的安装位置和走向,进行桥架的安装。桥架安装应牢固、平整,连接可靠,接地良好。

(4)支吊架安装:根据管道和桥架的重量和尺寸,安装相应的支吊架。支吊架的安装应位置准确、间距合理、牢固可靠,确保能够承受管道和桥架的重量。

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_机电二次配_06

6,设备安装与连接阶段

(1)设备就位:根据设备安装图纸和设备到货清单,将设备运输到指定的安装位置,采用合适的吊装设备和方法,将设备准确就位。

(2)设备连接:将各类机电设备与已安装好的管道、桥架等进行连接,包括管道与设备的法兰连接、螺纹连接,电气设备与桥架内电缆的接线等。

(3)设备调试:在设备连接完成后,对设备进行单机调试,检查设备的运行状况,如电机的转向、转速、温度等是否正常,设备的各项性能指标是否符合要求。

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_机电二次配_07

7,系统调试与测试阶段

(1)电气系统调试:对整个电气系统进行调试,包括配电柜、配电箱的送电调试,检查电气设备的运行参数,如电压、电流、功率等是否正常,测试电气系统的保护装置是否灵敏可靠。

(2)通风与空调系统调试:启动通风与空调系统,调整风机的风量、风压,检查空调机组的制冷、制热效果,测试洁净室的温湿度、洁净度等参数是否符合设计要求。

(3)纯水与工艺气体系统调试:对纯水系统进行冲洗、消毒,检测水质是否符合生产要求。对工艺气体系统进行压力测试、泄漏测试,确保气体输送系统的安全可靠。

(4)系统联动调试:在各子系统调试完成的基础上,进行系统联动调试,模拟生产过程中的实际工况,检查各系统之间的协同工作能力,确保整个机电系统能够稳定、高效运行。

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_机电二次配_08

8,竣工验收阶段

(1)施工自查:施工单位完成施工任务后,首先进行自查,对施工质量进行全面检查,整理施工资料,包括施工图纸、施工记录、检验报告、调试报告等。

(2)预验收:在施工单位自查合格的基础上,建设单位组织相关人员进行预验收,对机电二次配工程的施工质量、设备运行情况、系统调试效果等进行全面检查,提出整改意见。

(3)正式验收:预验收合格后,由建设单位组织设计单位、施工单位、监理单位等相关部门进行正式验收。验收合格后,各方签署竣工验收报告,机电二次配工程正式交付使用。

什么是集成电路新建项目机电二次配? -江苏泊苏系统集成有限公司_系统调试_09